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除塵器  往復泵、油封機械泵不適于抽含有灰塵的氣體?；覊m能污染油并且磨損泵腔內(nèi)表面產(chǎn)生  漏氣，使極限真空下降。防止灰塵的辦法是裝置除塵器。在真空冶金爐上常用的除塵器配置  方法如圖3-13所示。圖3-13(a)所示方案適用于始終都需要保護機械泵的真空裝置中；圖  3-13(b)所示方案適用于在冶煉過程中某一階段要求對真空泵進行保護的情況；圖3-13(c)  所示方案適用于連續(xù)、半連續(xù)生產(chǎn)的真空裝置中  除塵器能保護機械泵，但嚴重地降低了泵的有效抽速，增加了設備投資，給維修運轉(zhuǎn)帶  來不便。

渦輪分子泵正常工作需要小于1Pa的前級壓力。一般的機械泵可作為該泵的前級泵  中頻電動機的啟動由中頻電源內(nèi)的電子裝置控制。在幾分鐘內(nèi)使泵升至額定轉(zhuǎn)速。中頻電機  工作時通常以風扇或通水進行冷卻  當泵進入正常轉(zhuǎn)速后,為達到極限壓力,應對被抽容器及泵體進行烘烤除氣,泵體的除 

小型氨流程低溫泵  氦流程低溫泵的低溫板,靠液氦汽化的低溫氣氦進行冷卻,氦由外部的液氦貯  槽(或液氦裝置)連續(xù)不斷地自動調(diào)節(jié)流量供給低溫板,它的優(yōu)點是低溫板可工作