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油擴散泵的性能參數(shù)  (1)極限壓力  油擴散泵的極限壓力是指泵裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作  的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。泵的極限壓力受許多因素的影響，如前級側(cè)氣體的反擴  散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸氣壓、蒸氣流中釋放出來的氣體以及泵壁放氣等。其中氣體經(jīng)  過蒸氣射流的反擴散與蒸氣射流下部的氣體壓力、蒸氣射流的密度和速度以及氣體的分子量  有關(guān)。

為提高油擴散泵極限壓力可采取如下的方法。  ①改進擴散泵結(jié)構(gòu)設計如加分餾裝置、合理分配鍋爐加熱功率，增大鍋爐中心區(qū)  改進噴嘴角度設計，在一級導流管中加裝加熱器進行氣相加熱，以增加蒸氣流速度減少蒸氣  流的散射。上述措施也可以減少油的裂化、返流，提高泵的極限壓力。  ②減少油蒸氣的返流  a加擋油帽，在第一級噴嘴上面，加水冷擋油帽，通?？墒狗涤土拷档桶雮€到一個數(shù)  量級  b.障板，使用水冷或低溫介質(zhì)冷卻的各種障板，可使返油量大大降低。  c冷阱，使用液氮冷阱捕集返流蒸氣，液氮冷阱不能全部把油蒸氣擋住，仍有少量的  油氣分子通過冷阱進入被抽容器中，其途徑如圖499所示：兩個油分子之間的碰撞；油分  子和氣體分子的多次碰撞；未被捕獲的油分子反彈到高真空的區(qū)域中；室溫下油從泵壁表面  遷移。擴散泵系統(tǒng)采用液氮冷阱后可獲得10-8~10-9Pa極限壓力  d.吸附阱。擴散泵進氣口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附返流的油蒸氣后，可以獲得  10-8~10-9Pa的真空度。但這種阱有如下缺點：吸附劑易粉末化；吸附劑要再活化；需經(jīng)  更換吸附劑，操作不便