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         (1)烘烤  這主要是射離子泵內鈦沉積層吸附了大量水汽之故。為驅除水汽必須姚。抽速也小，  當濺射離子泵長期暴露大氣時，不但會出現(xiàn)啟動困難，而且極限壓力也  烘烤時應將磁鋼、各種引線、橡膠密封圈等拆下，緩緩升溫，直至250~300℃,恒溫  12h,烘烤時泵內真空度應不低于1×10-1Pa。烘烤完畢后，緩緩打開烘箱，裝上磁鋼。  )氬清洗處理  濺射離子泵沾污過油蒸氣或其他有機物，陰極板氧化或大量排過氫氣，則濺射離子泵真  空度會下降。一般可采用烘烤去氣后再進行清洗處理。氬清洗是用氬離子轟擊鈦板，把陰  極板上的沾污物或溶解在陰極板里面的氫轟擊出來。再被大量濺散的鈦所吸收或埋葬掉。充氫  壓力應維持在10-2Pa量級或觀察離子流，大約在10~200mA之間擺動。氬清洗一般1-2h。  (3)工作壽命  由于濺射離子泵的濺散率取決于轟擊的離子數(shù)和能量，因此壓力愈高，陰極濺射愈劇  烈，故其使用壽命與工作壓力成反比。為提高泵的使用壽命，盡量不要在10-1~10-2Pa壓  力范圍內工作。  (4)濺射離子泵的形式與基本參數(shù)(摘自JB/T4081-91)  本標準規(guī)定了普通形式的濺射離子泵的形式與基本參數(shù)。適用于二電位的二極型和三極  型菠射離子泵  本標準使用的術語應符合GB3163的規(guī)定。使用的符號、代號應符合JB/T7673-95。  ①形式  a.本標準把二電位普通形式的濺射離子泵分為二極型泵和三極型泵。  二極型泵的抽氣單元由陽極筒和陰極板組成，陽極接數(shù)千伏正電位，陰極連同泵體  三極型泵的抽氣單元由陽極、陰極和收集極組成。陽極和收集極連同泵體接地，陰極接  接地  數(shù)千伏負電位。  b.型號表示方法須符合JB/T7673—95真空泵型號編制方法。  ②基本參數(shù)  a.二極型濺射離子泵的基本參數(shù)應符合表4-52的規(guī)定。

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