正宇真空設備
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
渦輪分子泵的極限壓力p1可用泵出口壓力p2除以泵的壓縮比K得來,即(2-24) K 渦輪分子泵的K值,隨分子量的增加而增大,它對油蒸氣的壓縮比特別大 因而能夠獲得碳氫化合物污染較少的清潔真空,但對于輕的氣體如氫的壓縮比卻很 低,所以前級氫分壓是影響泵的極限壓力最重要的因素,氫的分壓主要來源于前級 機械泵運轉(zhuǎn)時油裂解產(chǎn)生氫的影響,不同牌號的前級機械泵油,對分子泵的極限壓 力的影響遠遠大于泵軸承潤滑油的影響。高壓縮比的分子泵,經(jīng)過烘烤后能獲得 1×10=6~1×10-9Pa的真空度,氫占殘余氣體成分的90%以上。
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圖227所示為抽速為200L/s的渦輪分g 子泵其前級壓力p1對泵的極限壓力pm的影響。1可以看出,前級壓力從1Pa增大到130Pa時,泵的極限壓力不受影響,當前級壓力從65Pa提前級壓力高到130Pa時,泵的極限壓力從4×105Pa增 加到2×10-3Pa,前級壓力從130Pa繼續(xù)提高到200Pa時,泵的極限壓力迅速增大三個數(shù)量級, 此時受泵的抽氣葉列中氣體流動狀態(tài)變化的影響,泵的壓縮比從K=104降到 K=102。