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您的位置: 首頁 ->  維修資訊 -> 分子泵維修之渦輪分子極限壓力的產(chǎn)生過程

   渦輪分子泵的極限壓力p1可用泵出口壓力p2除以泵的壓縮比K得來,即(2-24)  K  渦輪分子泵的K值,隨分子量的增加而增大,它對油蒸氣的壓縮比特別大  因而能夠獲得碳氫化合物污染較少的清潔真空,但對于輕的氣體如氫的壓縮比卻很 低,所以前級氫分壓是影響泵的極限壓力最重要的因素,氫的分壓主要來源于前級 機械泵運轉(zhuǎn)時油裂解產(chǎn)生氫的影響,不同牌號的前級機械泵油,對分子泵的極限壓  力的影響遠遠大于泵軸承潤滑油的影響。高壓縮比的分子泵,經(jīng)過烘烤后能獲得  1×10=6~1×10-9Pa的真空度,氫占殘余氣體成分的90%以上。

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圖226所示為在不烘烤條件下,極限壓力1.3×107Pa時渦輪分子泵的殘氣 質(zhì)譜??梢钥闯鏊侵饕鰵獬煞?,約占總氣量的80%,并在質(zhì)量17處有一個裂 解碎片較小的伴峰。質(zhì)量28和44峰是熱燈絲裂解潤滑油產(chǎn)生的一氧化碳和二氧化碳。隨著抽氣時間的延長,水峰將逐漸降低,氫峰逐漸成為殘余氣體主峰。影響渦輪分子泵極限壓力的另一個重要原因是前級壓力不能過高,渦輪分子泵的前級排氣壓力和前級泵的進氣口壓力不應該超過65~130Pa。

圖227所示為抽速為200L/s的渦輪分g  子泵其前級壓力p1對泵的極限壓力pm的影響。1可以看出,前級壓力從1Pa增大到130Pa時,泵的極限壓力不受影響,當前級壓力從65Pa提前級壓力高到130Pa時,泵的極限壓力從4×105Pa增  加到2×10-3Pa,前級壓力從130Pa繼續(xù)提高到200Pa時,泵的極限壓力迅速增大三個數(shù)量級,  此時受泵的抽氣葉列中氣體流動狀態(tài)變化的影響,泵的壓縮比從K=104降到  K=102。


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