正宇真空設(shè)備
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氣鎮(zhèn)原理
為了抽除可凝性氣體,油封式機(jī)械真空泵常裝有氣鎮(zhèn)裝置,所以它又被稱為氣鎮(zhèn)泵。 A氣鎮(zhèn)原理 泵抽除的氣體多為永久性氣體和可凝性氣體的混合物。在壓縮和排氣過程中,當(dāng)可凝性氣 體的分壓超過泵溫時該氣體的飽和蒸氣壓時,可凝性氣體將會凝結(jié)并混于泵油中,隨泵油循 環(huán),并在返回高真空側(cè)時重新蒸發(fā)變成蒸氣。泵不斷地運轉(zhuǎn),這種凝結(jié)物就會不斷地增加,結(jié) 果使泵的極限真空下降,影響了泵的抽氣性能,加重了泵油的污染程度 氣鎮(zhèn)法可以有效地防止可凝性氣體凝結(jié)。該方法是在被抽氣體被壓縮過程中將經(jīng)過控制的永久 性氣體(通常為室溫干燥空氣)由氣鎮(zhèn)孔摻人其中,使可凝性氣體分壓達(dá)到泵溫時的飽和蒸氣壓之 前,壓縮氣體的壓力已達(dá)到排氣壓力,排氣閥打開,將可凝性氣體同永久性氣體一同排出。
圖722描述了上述氣鎮(zhèn)過程。表示蒸氣吸入過程,蒸氣的吸入壓強(qiáng)為py。對于氣鎮(zhèn)泵 吸氣終了后,稍加壓縮至b點,就開始向泵腔內(nèi)摻氣,并壓縮至排氣壓強(qiáng)pr,,由bc表示 等壓排出混合氣體,由cf表示。對于非氣鎮(zhèn)泵,蒸氣吸入后被壓縮到泵溫時的飽和壓強(qiáng)psT, 以bc表示。泵繼續(xù)壓縮,蒸氣逐漸液化,其過程由cd表示。這時泵對液體(液化的蒸氣及泵 腔內(nèi)的泵油)進(jìn)行壓縮,使壓強(qiáng)突然上升到達(dá)排氣壓強(qiáng)p,如de所示。最后液體被排至油箱 中,水與泵油相混,如ef所示。然而在摻氣過程中,可凝性氣體的壓縮達(dá)到c點,此時空氣 及蒸氣混合物的全壓強(qiáng)就已達(dá)到排氣壓強(qiáng)c。在排氣壓強(qiáng)下,蒸氣的分壓強(qiáng)只達(dá)到ps,因全 壓強(qiáng)已達(dá)到排氣壓強(qiáng),排氣閥被推開進(jìn)行排氣,未凝結(jié)的蒸氣保持氣體狀態(tài)一起排至大氣中。 這就是氣鎮(zhèn)泵的工作原理