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真空泵維修之渦輪分子泵軸承及動平衡
渦輪分子泵屬于高速精密機械,葉片轉(zhuǎn)速在6000~60000/min范圍,因此性  能優(yōu)良的分子泵除了內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計外,軸承及裝配后的動平衡,就顯得特別重要國產(chǎn)分子泵的軸承,大多采用普通高速軸承和陶瓷軸示
理想的空氣軸承和磁懸浮軸承摩擦力最小,并且可獲得絕對無油的清潔真空
可惜的是,這種動態(tài)密封的轉(zhuǎn)動和固定元件之間的間隙在10~20m,所以對固體微粒非常敏感,它要求壓縮空氣必須精細過濾,所含灰塵粒度不大于3m,含油量不大于5ppm被抽氣體中也不能有懸浮的固體微粒。此外,采用空氣軸承和空  氣透平驅(qū)動所需要的空氣壓縮機及配備相應(yīng)的保護裝置,不僅占面積大、噪聲大,  而且還有維修問題,其價格要高出用軸承支撐的分子泵數(shù)倍。在抽除大量氣體的大  型設(shè)備上,以及需要反復(fù)從大氣抽到高真空的設(shè)備上,為了縮短抽氣時間,往往還  要配置預(yù)抽泵或前級泵。大多數(shù)這樣的應(yīng)用中,動態(tài)密封取代軸承就沒有優(yōu)點了  磁懸浮軸承,也具有空氣軸承的優(yōu)點,缺點同樣是價格昂貴(與氣體軸承接  近),為了有效控制轉(zhuǎn)子的磁懸浮系統(tǒng),需要大的電磁鐵和復(fù)雜的電子裝置,而且  目前尚未達到實用階段,因此很少采用。  渦輪分子泵轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的微小不平衡,都能產(chǎn)生較大的離心力,直接  影響分子泵的振動噪聲,嚴重時,會使分子泵不能正常工作。分子泵動平衡屬Q(mào)  精密平衡,不平衡量在0.4~1pm。用國產(chǎn)WD-73型動平衡機對分子泵主軸轉(zhuǎn)速在  2400mi時進行動平衡試驗,用下式計算不平衡2輪分子泵  臥式分子泵雙吸轉(zhuǎn)子在它的兩端各有一個軸承。在轉(zhuǎn)子端部任何振動都可能造  成大的噪聲,并且,它的頻率是轉(zhuǎn)子諧振頻率的整倍數(shù)。要求平衡后在渦輪分子泵  進氣口法蘭處測得的殘余振幅小于0.1m以下  立式渦輪分子泵在轉(zhuǎn)子中部和下部裝有軸承,轉(zhuǎn)子上端的振幅較大,特別是大型立  式分子泵,其殘余振動值比同樣大的臥式渦輪分子泵要高得多,最少在10倍以上  雙吸臥式渦輪分子泵的軸承更換比較容易,現(xiàn)代渦輪分子泵設(shè)計成甚至在更換  軸承過程中,轉(zhuǎn)子的位置也不動。因為,更換軸承的質(zhì)量和整個轉(zhuǎn)子質(zhì)量相比很  小,更換后不會產(chǎn)生不平衡的問題,所以不需要再做動平衡試驗。小型單吸分子泵  更換軸承時,需要將兩個轉(zhuǎn)子軸承同驅(qū)動電機一起拉出來,真空泵維修更換軸承后要小心正確  地裝到原來位置上,就不需要再重新平衡渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子  立式渦輪分子泵更換轉(zhuǎn)子軸承后,大多要重新做動平衡實驗。因為更換軸承  時,需要將整個轉(zhuǎn)子從支撐中心軸上取出來,更換軸承后再重新精確地安裝到和以  前一樣的位置上,不平衡的危險是很大的,所以,立式渦輪分子泵的生產(chǎn)廠,建議  更換軸承要生產(chǎn)廠自己來做,或者在具有轉(zhuǎn)子動平衡設(shè)備的大廠來更換軸承  立式單轉(zhuǎn)子渦輪分子泵和臥式雙轉(zhuǎn)子渦輪分子泵這兩種類型,各有優(yōu)缺點。臥  式泵比立式泵的軸承設(shè)計要穩(wěn)定,最大抽速和最大壓縮比都可以設(shè)計得最佳。立式  單轉(zhuǎn)子進口法蘭到轉(zhuǎn)子間的流導(dǎo)較臥式雙吸渦輪分子泵要大,用戶可以根據(jù)生產(chǎn)需 。要選用