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     低溫泵抽氣系統(tǒng)根據(jù)抽氣機(jī)理可以大致分為低溫冷凝、低溫吸附和兼有兩種抽氣機(jī)理的  制冷機(jī)低溫泵抽氣系統(tǒng),可根據(jù)工藝生產(chǎn)要求選用。例如,用10K以下的低溫板和吸氣劑,  冷凝、吸附氣體分子的小型制冷機(jī)低溫泵,可以組成理想的清潔無油的超高真空抽氣系統(tǒng)  普通碳鋼真空泵容器不經(jīng)烘烤,可獲得低于10-6Pa的極限壓力。選用不銹鋼真空容器,經(jīng)  300℃、4h高溫除氣,能獲得低于10-8Pa的極限壓力。低溫泵機(jī)組的抽氣曲線平穩(wěn)段很寬  (類似于油擴(kuò)散泵),雖然它也和濺射離子泵一樣,不將被抽氣體排向大氣而捕集在泵內(nèi),但  是它在抽氣時(shí)不消耗吸氣材料,每次抽氣結(jié)束升溫再生時(shí),通過預(yù)抽泵可將釋放出的氣體排  到大氣中,因此,它的抽氣容量和壽命都遠(yuǎn)大于濺射離子泵。低溫泵機(jī)組的抽速從幾百升到  數(shù)十萬升,其應(yīng)用范圍比濺射離子泵抽氣系統(tǒng)廣泛。  圖3-27是一臺(tái)典型的低溫泵抽氣系統(tǒng)的示意圖。正常工作時(shí),系統(tǒng)不需要前級(jí)泵,只  有開始抽氣時(shí)和低溫泵再生時(shí)需要預(yù)抽泵抽除真空容器中的水氣或升溫解吸出的氣體  真空閥門下面的粗抽管道主要用于低溫泵停止抽氣期間的升溫再生。對(duì)清潔度要求不嚴(yán)  格的系統(tǒng),可以使用旋片機(jī)械泵作為預(yù)抽泵。要求絕對(duì)無油的清潔真空環(huán)境,可以采用多級(jí)  分子篩吸附泵或干式泵機(jī)組預(yù)抽。

①低溫泵抽氣機(jī)組的運(yùn)行(啟動(dòng)和停機(jī))首先啟動(dòng)制冷機(jī)低溫泵(此時(shí)高真空閥處于  關(guān)閉狀態(tài)),通過閥門11用預(yù)抽泵抽除低溫泵泵體內(nèi)的大氣,當(dāng)壓力達(dá)到20~15Pa時(shí),關(guān)
閉閥門11停神預(yù),當(dāng)?shù)蜏乇美浒暹_(dá)到正常工作溫度后,啟動(dòng)預(yù)抽泵打開預(yù)抽閥8對(duì)真  空容器進(jìn)行預(yù)抽,到達(dá)規(guī)定轉(zhuǎn)換壓力時(shí)關(guān)閉預(yù)抽系統(tǒng)井打開高真空閥,低溫泵開始對(duì)真空容  四過行抽氣,系統(tǒng)到達(dá)其本底極限壓力的抽氣時(shí)間將由系統(tǒng)的歷史條件、處理工件的出氣  閥門密封圈的漏氣道率等因素決定,通常容器內(nèi)壓力抽到工作壓力時(shí),就可以進(jìn)行工藝處  個(gè)工藝周朋完成后需要直空容四放入大氣更換工件時(shí),首先關(guān)閉高真空閥,通過直  ,不一定需要達(dá)到其本底壓力,  室放氣閥5放入大氣(最理想的氣體是放入干燥氮?dú)?,更換工件后,再用預(yù)抽泵抽除放入  的氣體、到轉(zhuǎn)換壓力時(shí)關(guān)閉粗抽閥門8,停掉預(yù)抽泵,打開高真空閥4  停止運(yùn)轉(zhuǎn)的步驟與啟動(dòng)程序相反,首先關(guān)閉高真空閥,再切掉制冷機(jī)的電源,停止低阻  泵運(yùn)轉(zhuǎn),如果系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)期間抽除的氣量很小,停泵后自然升溫時(shí)冷凝、吸附的氣體全部放出  仍不足以使泵體內(nèi)壓力升高到1個(gè)氣壓以上,停泵時(shí)不需要啟動(dòng)機(jī)械泵。如果抽除的氣量很  多,切斷氮壓縮機(jī)電源的同時(shí)就需要啟動(dòng)預(yù)抽機(jī)械泵,將低溫泵冷板解吸的氣體排到大氣  中,防止解吸的氣體形成過高壓力引起爆炸,確保低溫泵的安全  超高真空系統(tǒng)無論是停泵或更換工件,都盡可能避免放入潮濕大氣,每個(gè)工藝周期停泵  時(shí)最好放入干燥氮?dú)?讓系統(tǒng)內(nèi)所有表面在停泵后吸附幾層氮?dú)夥肿?能有效地降低再次啟  動(dòng)時(shí)材料的出氣率,縮短啟動(dòng)抽氣時(shí)間  ②低溫泵系統(tǒng)特性20K的低溫表面黏附的活性炭能大量抽掉除氫氖等氣體,但對(duì)復(fù)  的抽氣容量很小,需要抽除大量氮?dú)獾牡蜏乇?應(yīng)該使用4.2K的液氮低溫泵,不能用氣氦  低溫泵,液氮低溫泵還具有無震動(dòng)、無磁場(chǎng)的突出優(yōu)點(diǎn),可用于與化學(xué)分析電子能譜儀或二  次離子質(zhì)諸儀一類的靈敏的表面分析設(shè)備。氣體制冷機(jī)低溫泵的活塞運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的輕微震動(dòng)會(huì)
小型制冷機(jī)低溫泵系統(tǒng)盡量不用于抽除大量氬氣,若用于抽除大量氬氣時(shí),應(yīng)采用  二次光學(xué)屏蔽的80K擋板用以屏蔽20K低溫板,減少缸氣進(jìn)入吸附劑的概率。因?yàn)闅錃鈺?huì)在吸附劑的微孔表面凝結(jié)成固態(tài)氬,一且吸氣劑表面覆蓋一層固態(tài)氧,就只有靠固態(tài)氫霜捕集氫、氮,當(dāng)氨霜的溫度高于20K時(shí),氬霜就不能捕集氫。一旦吸附劑的微孔被氙或油蒸氣冷凝物堵塞,或者吸附劑吸附的氣體達(dá)到飽活時(shí),必須對(duì)低溫泵進(jìn)行再生,才能恢復(fù)泵的抽氣性能
③低溫泵的再生低溫泵抽氣系統(tǒng)的再生依據(jù)再生溫度分為部分再生(室溫)和全部再生(高溫烘).

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