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    泵油的返流定義為泵液及其裂解物遷移到真空室的現象。單位時間、單位泵口  面積上返流到被抽容器中泵油的質量,稱為泵的返油率,單位為mg/(min:cm2)。  泵油的返流,不僅影響到泵的極限壓力,凝結和爬移的油還會對真空室及器件造成
嚴重的污染。一些不希望油蒸氣污染的真空系統(tǒng)  把返油率作為擴散泵的重要指標。實驗證實,油蒸  氣的返流途徑,大致可歸納為如圖2-3中所示的五

種途徑  ①泵油沿泵壁表面爬移的冷凝油膜的再蒸發(fā);  ②噴嘴噴出的高速油蒸氣碰到泵壁后的反射  ③頂級噴嘴表面的油膜及油滴的再蒸發(fā)  ④頂級噴嘴邊緣凝結的油滴再蒸發(fā)以及該處蒸
氣湍流的漫散射;
⑤油膜沿泵壁的爬移  其中,第③、④兩項是油蒸氣返流的主要途圖2-3油蒸氣返流示意圖徑,大約占總返油量的70%。若頂級噴嘴采用螺釘連接,則所占比重增加到75以上。返油率與擴散泵的結構、冷卻水的流量、加熱功率以及泵油的牌號等有關生產廠家給出的返油率是無擋板泵的入口平面的返油率,而系統(tǒng)設計者關心的是板或液氮冷阱上部的穩(wěn)態(tài)返油率。