正宇真空設備
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
在高真空區(qū)域內,當真空設備內材料的出氣可以忽略時,真空室的抽氣時間計算與低真空抽氣時間計算相同,由于高真空泵抽速較大,這段時間很短。實際上高真空的抽氣時間主要取決于材料出氣
在剛開始抽氣的幾十小時內,材料出氣率是變量,因而真空室的總出氣量隨抽氣時間而 衰減。計算到達某一壓力所需的時間由總出氣量和泵(或機組)的有效抽速的比值決定般可用查材料出氣率曲線和繪圖方法進行計算
例如:計算抽到壓力p需要的抽氣時間步驟如下。
①計算真空室平衡壓力為p時的出氣量Q,其值等于泵(或機組)在壓力為p時的排氣量,即
Q=pS(Pa·L/s)
②計算真空室中材料表面積為A的平均氣速率q,即
q=Q/A[Pa·L/(s:cm2)]
③根據材料出氣率曲線,查出q的點,與此點相對應的時間,即為達到平衡壓時所需要的時間
計算舉
碳鋼制作的真空室放置實驗用銅板,鋼和銅的面積各為4×104cm2,用有效抽速為103L/s的高真空機組抽氣時,室溫下要獲得5×10-Pa需要多少時間(漏氣可以忽略)?
方法:①計算真空室的平衡壓力為5×10-4Pa時允許出氣量
Q=pS=5×10-4×103=5×10-(Pa·L/s)
②計算鋼板和銅板兩者的平均出氣率
Q5×10
A8×104 6.25×10-6[Pa·L,(s·cm2)]=6.25×10-5[Pa·m3/(s
③作碳鋼和銅板兩者疊加后的平均出氣率曲線(圖3-10)。
①查曲線圖3-10得:出氣率為6.25×106Pa·L/(s·cm2)時的出氣時間為0.4lh這一時間就是所求的抽氣時間。
說
①真空室只有一種材料時,不需要作疊加曲線,只需查出氣率曲線即可
②當材料種類很多時,可將出氣率很小(或面積很小)的某些材料的出氣忽略不計
只需作幾種出氣率大的材料的出氣率的疊加曲線,以使
計算簡化 ③當材料面積不等時,可按材料面積倍數作疊加 線,如上例中,假如碳鋼的表面積為銅板面積的20倍 碳鋼出氣率則應增加20倍,以此作出疊加出氣率曲線 (3)幾種典型真空度抽氣時間 真空室內壓力降到初始壓力的1/2、1/10和 (e=2.718,1/c=0.368)的抽氣時間用下列公式計算
降至初始壓力的1/2時的抽氣時間
V 6)
降至初始壓力的1/10時的抽氣時間
10=2.303s (3-17)
圖3-10碳鋼、銅板及疊加后
的出氣率曲線 降至初始壓力的1/e時的抽氣時間(稱為時間常數) 1一碳鋼的出氣率12一銅的出氣率
3一疊加后的平均出氣率
式中V—真空室的容積,L;
S—泵(或機組)對真空室抽氣口的有效抽速,L/s
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