正宇真空設(shè)備
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2)各種形狀和溫度的題射屏(液N溫度),(3)8→低溫介質(zhì)(液氮)冷卻的抽氣數(shù)圓 D.1.6.1低溫冷雙果
如圖p4所示,低溫冷凝泵由三種部件組成 圖9-4(n)是第一代泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖.基木t 液氮容器,底 部作為抽氣 銹鋼 氮容器包圍,冷 抽氣面鍍銀,且擋板
射極小的熱輻射 措施,顯著地降低了 溫表面的熱負(fù)荷,因而使氫的平衡壓強(qiáng)大為降 低。2.3K的鍍銀低溫表面可以獲得(9.33± 的氫平衡壓強(qiáng) 圍以 2.66)X
卻擋板 屏蔽時(shí),氫平衡壓強(qiáng)趨近于
圖94低溫冷凝泵 10-:如果把擋板溫度降至64K,則可獲得
1-冷凝面,2-人字形擋板;3-法蘭 1.33×10-lPa
4一雙層外套,5一箔,6一輻射屏 另一種方法是在鍍很表面上預(yù)先冷凝一層 Ne、Ar、O2等氣體,則可以獲得1.33×10-10Pa的氫壓強(qiáng);如果再把周?chē)膿醢褰抵?8K和 64K,則可分別測(cè)得10-1和10-12Pa的氫壓強(qiáng) 冷凝面下邊的擋板有兩個(gè)作用:(1)減少室溫對(duì)冷凝面的熱輻射;(2)氣體分子通過(guò)它被 冷卻后再打到冷凝面上,可凝性氣體被冷凝在它上面;不可凝性氣體則被預(yù)冷,從而減少了對(duì) 低溫冷量的消耗。因此要求它對(duì)氣體的傳輸幾率盡可能大 該系的另一特點(diǎn)是除底部外,液氮容器壁的其他面做成雙層。冷卻期間夾層空間抽成真空 以絕熱。該泵的缺點(diǎn)是液氮損耗較大。有80%以上的液氦消耗于液氮保護(hù)壁的熱輻射 圖94(b)是對(duì)圖94(a)進(jìn)行了改進(jìn)的第二代泵。基于上述缺點(diǎn),該泵在液氮雙層壁和 液氮容器之間附加一個(gè)輻射屏,固定在液氮容器的頸管處,并被排出的氣體冷卻。屏內(nèi)壁涂
在給定的抽速下,由于圖94(b)所示結(jié)構(gòu)的泵降低了熱負(fù)荷,當(dāng)不考慮液氮的傳導(dǎo)損失級(jí),因而使4.2K液氦的保存時(shí)間,即泵的工作壽命得到延長(zhǎng) 9.1.6.2低溫吸附泵 利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附而達(dá)到抽氣作用的泵。根據(jù)所用 吸附劑不同,又可分為三種類(lèi)型:(1)非金屬吸附劑泵:以活性炭、分子篩等為吸附劑。(2) 金屬吸附劑泵:以蒸發(fā)或升華在冷面上的鈦、鉭、鉬等金屬或其合金為吸氣劑。(3)氣體霜吸 附:以二氧化碳、水蒸氣等易冷凝的氣體在低溫表面成霜作為吸附劑(也有類(lèi)似吸附劑一樣的 吸氣作用)。它是靠低溫捕集作用抽氣。
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