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渦輪分子泵是一組帶葉片的分子透平機(jī),通過高速電機(jī)帶動(dòng)葉片高速旋轉(zhuǎn),將  動(dòng)量傳遞給氣體分子,壓縮氣體實(shí)現(xiàn)抽氣。轉(zhuǎn)子速度一般在10000~60000/m  由固體電源或電動(dòng)發(fā)電機(jī)組驅(qū)動(dòng)。由于單組葉片對(duì)氣體的壓縮比太小,所以需要  多級(jí)葉片串聯(lián)起來,在各級(jí)動(dòng)片之間交替開槽安裝固定葉片。大型泵,交替排列的  動(dòng)片和定片一般有10~20組,間隙為1mm左右(大型泵為2~3mm)。為了提  的抽氣性能,靠近高真空進(jìn)氣口的幾級(jí)葉片與接近排氣口幾級(jí)葉片形狀不同,排
氣口附近的葉片組設(shè)計(jì)成高抽速低壓比,排氣口附近的葉片設(shè)計(jì)成低抽速高壓比
因?yàn)橥ㄟ^各級(jí)的氣體流量相同,所以,一般將葉片分為三組,各組葉片設(shè)計(jì)時(shí)選擇
最佳的葉片間隔同葉片弦長之比,并且在抽速和對(duì)輕的氣體壓比之間進(jìn)行分析來設(shè)
計(jì)最佳的葉片角度,通常葉片斜角一般在20°
商品系列泵的抽速范圍為70~4150L/s,
極限壓力10-7~109Pa,在氣流量為零的條件
下,若各級(jí)葉片壓縮比為5,九級(jí)葉片串聯(lián)后
的壓縮比可近似等于59=2.44×108數(shù)量級(jí)  圖218所示為20世紀(jì)60年代研制出的立式  渦輪分子泵。立式渦輪分子泵只有一組抽氣渦  輪組件,從結(jié)構(gòu)、裝配的角度來看,立式泵  比臥式泵要簡單得多,在我國已代替臥式渦  輪分子泵發(fā)展成為主流渦輪分子泵。1966年  法國 Sneen  公司推出口徑
極限壓力1.9×  抽速
的大型渦  輪分子泵,我國商用立式渦輪分子泵大都采用  高速軸承或向瓷軸承,驅(qū)動(dòng)方式有電子模擬式  自動(dòng)變頻電源、微機(jī)程控式自動(dòng)變頻電源和電圖218立式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)簡圖
機(jī)變頻式三種電源。轉(zhuǎn)速14000~42000/min,抽速110~3600L/s,極限壓力  10-8Pa  分子泵進(jìn)氣口端的葉片工作時(shí)處于分子流態(tài),扭矩較小,接近排氣口的葉片受  氣體的阻力大,如果前級(jí)管道的壓力過高,使葉片處于過度流或黏滯流范圍時(shí),氣  體的黏滯阻力就對(duì)葉片產(chǎn)生附加阻力,因?yàn)榉€(wěn)態(tài)情況下,轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)功率與轉(zhuǎn)速和  扭矩的乘積成正比,當(dāng)電機(jī)功率富余度較少時(shí),前級(jí)壓力增高時(shí)會(huì)使泵的轉(zhuǎn)速突然  降低,引起抽速嚴(yán)重下降  采用恒速電機(jī),可在前級(jí)壓力增高時(shí),輸出更大的功率用以保證分子泵的轉(zhuǎn)速  不變,但是,當(dāng)前級(jí)在黏滯流范圍時(shí),雖然泵的轉(zhuǎn)速恒定,仍然會(huì)出現(xiàn)抽速損失  這可能與流導(dǎo)限制有關(guān)聯(lián),因此,配置的前級(jí)泵的抽速要足夠大。  渦輪分子泵需要潤滑油潤滑軸承,由于潤滑油的蒸氣會(huì)返流到真空容器中造成  污染,所以還不是絕對(duì)無油的清潔真空泵。  此外,它的前級(jí)不能承受大氣壓,需要配備前級(jí)真空泵才能正常工作。