正宇真空設備
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
①鈦泵以鈦升華泵為主是獲得高真空或超高真空的泵種之一,工作壓力范圍為0.13 1×10Pa,啟動壓力為1.3Pan,但它不能單獨使用,若配置無油泵或分子篩吸附泵為前級 泵可獲得全無油的超高真空。若配置帶吸附阱的機械泵或帶冷阱的擴散泵機組可獲得近似無
油的超高真空 ②電離升華泵結構簡單、體積小、制造方便。既有鈦升華泵的特點,能使鈦加熱到 120℃升華,來抽除活性氣體,又具備濺射離子泵的特點,對惰性氣體電離抽氣,且不用磁 場而獲得高效率的抽氣作用。但它的缺點是電離抽氣與鈦損耗之間有矛盾,要提高惰性氣體 抽速、勢必加高陽極電壓,提高發(fā)射電流,因此使鈦的損耗增大,泵的壽命縮短。欲增加鈦儲量,延長泵的壽命,陽極要變粗,電子軌道變短,電離抽速下降。這種泵的直徑越小所需 極電壓越高,電離轟擊陽極會產生有害于人體的X射線,為此該泵不適宜作大泵
③鈦泵工作時不能突然沖入大氣,由于密封元件失效或測量用真空計玻璃規(guī)管斷裂,就會燒壞蒸發(fā)器的加熱絲,嚴重時需要重新更換蒸發(fā)器和清潔沉積在泵壁內表面的被氧化的鈦膜
④鈦泵工作后最重要的維護工作是停泵后關閉抽氣閥門,使泵處于真空狀態(tài),盡可能 避免長期暴露大氣
泵壁鈦膜過厚或起皮脫落影響抽速或極限壓力時需要清除鈦膜?？筛鶕帽诖笮Q定采 用機械砂磨或化學方法清理,這種需要定期清理鈦膜的缺點是影響蒸發(fā)鈦泵廣泛應用的最主 要因素.
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