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 超高真空氣體成分分析及分壓力測量對真空質諧計的要求  超高真空分壓力測量是通過真空質譜計實現的。為了滿足超高真空氣體成分分  析及分壓力測量要求,對常用的真空質譜計的選擇、安裝及使用提出如下特  ①為了在超高真空或極高真空條件下,能夠檢測到微量的氣體組分,選用的  真空質譜計必須具有足夠高的檢測靈敏度,質譜計的最小可檢分壓力技術指標應小  于10-10Pa,為了提高檢測靈敏度,通常選用帶倍增器離子收集的質譜計;質譜計  的質量范圍在1~100或1~50u就夠了。在1~4u輕質量范圍內,儀器應具有較  好的輕質量測量特性  ②質譜計的離子源最好選用開式離子源并便于電子轟擊出氣,以減小“記憶  效應”。  ③離子源的燈絲應盡量選用低溫燈絲,并在低發(fā)射電子流模式下工作,以減  小燈絲對分子的熱分解、電清除及化學清除效應  ④質譜計探頭和系統(tǒng)的連接管道的流導應足夠大,最好選用裸規(guī)安裝形式實  現原位置測量  ⑤質譜計探頭應能承受400℃溫度的烘烤,尤其應注意電子倍增器允許的烘烤  溫度,通常靜電式分離打拿極電子倍增器允許的烘烤溫度要更高一些。  ⑥質譜計探頭體積小、重量輕,便于在超高真空系統(tǒng)上安裝  ⑦質譜峰的離子流強和圖形系數應對系統(tǒng)中氣體量之間具有一定的定量關系  ⑧具有一定的分辨本領和良好的峰形、一致的峰寬,便于定量測量計算機數  據處理。  ⑨在分壓力測量時,離子源工作參數的電子加速能量應選用標準值,從而可  以采用標準離子譜進行定量測量  用于空間環(huán)境檢測的空間質譜計除了滿足上述要求外,還應滿足體積小、功耗  低、承受力學試驗和其他特殊條件的要求。