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極高真空系統(tǒng)組成  用液氨冷凍似升華的方法(即用分子沉技術(shù))可以獲得10-Pa的壓力,該系統(tǒng)由主  容器、極高真空室、縱烤系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)以及減壓系統(tǒng)等部分組成,圖328是  該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖

主容器包括中殼和容器外殼兩部分,由不銹鋼制成。外殼尺寸為中400mm×500mm  其結(jié)構(gòu)為夾套式,用以儲存液氮。在極高室內(nèi)部和外部各裝一個鈦鉬合金絲升華泵。在該室  出口裝有百葉窗障板。測量用裸BA規(guī)和裸彎注規(guī)亦裝在極高室內(nèi)。  烘烤系統(tǒng)包括管狀加熱器和空氣加熱器兩部分。前者用來加熱外殼、中殼和極高真空  室,后者用來烘烤主擴散泵上面的液氮冷阱  冷卻系統(tǒng)由氟里昂制冷系統(tǒng)和開式液氮供給系統(tǒng)構(gòu)成。前者冷卻主擴散泵上面的障板  后者可連續(xù)向大冷阱、內(nèi)殼液氮盤管和極高室液氮儲槽內(nèi)輸入液氮。  抽氣系統(tǒng)包括兩個互相獨立的分系統(tǒng):“夾層”抽氣系統(tǒng)、“隧道”抽氣系統(tǒng)和主抽氣系  ?！皧A層”系統(tǒng)是保護真空系統(tǒng),壓力10-3~10-4Pa,這不僅可降低對主系統(tǒng)的漏率要  統(tǒng)  求,也能減少內(nèi)殼和極高真空室加熱烘烤以及低溫冷凍時的漏熱?！八淼馈毕到y(tǒng)既是測量引  線和進出液管的通道,也是保護真空系統(tǒng),真空度可達104~10-5Pa。主抽氣系統(tǒng)同主容  器和極高真空室相連通,是獲得極高真空的直接抽氣手段。該系統(tǒng)由機械泵、KY-11和  KY-13兩套串聯(lián)擴散泵、人字形氟里昂障板、“防爬油”型液氮冷阱、兩級百葉窗式障板  冷凍鈦升華阱及冷凍鈦升華泵等組成
減壓系統(tǒng)是為進一步降低極高真空室儲槽內(nèi)液氮溫度而設(shè)置的,該系統(tǒng)由極高室液氮儲  槽和機械泵、低溫閥門和一些連接管道構(gòu)成。  綜合極高真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)組成,它具有以下幾個特點:①采用雙層真空保護系統(tǒng),可大大降  低對總漏率的要求,這對極高真空獲得是極為有利的;②采用人字形氟里昂障板和“防爬油”  式液氮冷阱相結(jié)合的冷卻裝置,能有效地降低擴散泵油蒸氣的返流影響;③在極高室內(nèi)外裝置  設(shè)鈦升華阱和鈦升華泵,對于極高真空的獲得具有重要作用,試驗證明,前者能有效地阻擋氣  體的返流,后者具有巨大的抽氣作用;④由于極高真空室的加熱烘烤是通過內(nèi)殼受熱后再經(jīng)輻  射傳熱來烘烤的,因而升溫均勻,出氣較為徹底;⑤采用開式沸騰和氣液分離漏斗相配合的液  氮供給系統(tǒng),可始終保持內(nèi)殼盤管和極高真空室儲槽內(nèi)的液氮處于充滿狀態(tài),這不但能大大降  低表面放氣率,還能使規(guī)管附近成為清潔區(qū)域,因而有利于極高真空獲得與測量;⑥極高真空  室夾套采用液氮減壓系統(tǒng),通過儲槽內(nèi)液氮減壓使表面溫度進一步降低,從而進一步減少表面  放氣和增加蒸鈦表面的吸氣效果,實驗表明,這對極高真空獲得來說是一種十分有利的手段;  在極高真空室端部連接法蘭上并列裝有彎注規(guī)和自動數(shù)字顯示的調(diào)制BA規(guī),前者用于極高真  空測量,后者用于進行彎注規(guī)和鈦升華泵去氣時真空度變化監(jiān)測,這在很大程度上減小了去氣  時的盲目性,實現(xiàn)了去氣狀態(tài)的精確控制,能明顯提高去氣效果