正宇真空設(shè)備
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抽氣時(shí)間 將真空系統(tǒng)的壓力降低到一定壓力(例如降到基礎(chǔ)壓力)所需要的時(shí)間,稱之為抽氣 間。抽氣時(shí)間在真空裝置的真空系統(tǒng)中由于它直接關(guān)聯(lián)到極限壓力、工作壓力性能的好壞問 題,因此,不論是任何真空裝置在設(shè)計(jì)、研制的過程中,都把抽氣時(shí)間作為裝置的主要性能 指標(biāo)提出來,以此作為驗(yàn)收真空裝置主要技術(shù)性能之 真空系統(tǒng)的抽氣時(shí)間計(jì)算包括粗、低抽氣時(shí)間和高真空抽氣時(shí)間的計(jì)算兩部分 (1)粗真空、低真空下抽氣時(shí)間計(jì)算 在粗真空、低真空下,真空設(shè)備本身內(nèi)表面的出氣量與設(shè)P
管道Sp 備總的氣體負(fù)荷相比,可以忽略不計(jì)。因而,在粗真空、低真 空情況下計(jì)算抽氣時(shí)間時(shí)一般不需要考慮出氣的影響。
○ 真空室 圖3-5真空系統(tǒng)原理圖 簡(jiǎn)單的抽氣系統(tǒng)原理圖如圖3-5所示。它由真空室、管道 1真空泵三部分組成。S為泵的有效抽速;S。為泵的名義抽 ;p為真空室某一時(shí)刻的壓力;p。為真空室的極限壓力;U為管道流導(dǎo) ①泵的抽速近似常量時(shí)的抽氣時(shí)間計(jì)算 a.若漏氣量很小以至可以忽略時(shí),真空設(shè)備從壓力p降到p所需要的抽氣時(shí)間t如 當(dāng)流導(dǎo)很大(U》Sp)時(shí),則S≈Sp,此時(shí)
V
p g
南國(guó)浪子:
b.在縱坐標(biāo)上找到泵抽速S=2L/s的一點(diǎn)。由該點(diǎn)引一與橫坐標(biāo)平行的線今=3 10-1的曲線交于一點(diǎn),由該點(diǎn)作垂線,交于線于一點(diǎn),即得5L C.容積為50L,所需的抽氣時(shí)間為t=5s/L×50L=250s。
南國(guó)浪子:
則
(4+) h.若漏氣量Q很大以至不忽略時(shí),真空室所達(dá)到的極限壓力pa=Q。/S、直空0 備從壓力D到p所需要的抽氣時(shí)間如下 當(dāng)流導(dǎo)很大(U>51)時(shí),則S≈S。,此時(shí)
流導(dǎo)為U時(shí), 則
式中(—抽氣時(shí)間
真空設(shè)備容積
泵的名義抽速
泵的有效抽
始抽氣時(shí)壓力,P P真空室的極限壓力,Pa U—管道的流導(dǎo),L/s; Q??蛰d時(shí),長(zhǎng)期抽氣后真空室的氣體負(fù)荷(由漏氣、材料表面出氣形成的)
計(jì)算 c抽速S近似于常數(shù),管道U是變量時(shí)的抽氣時(shí)間計(jì)算(適合于黏滯流時(shí)的粗略
先把真空設(shè)備工作壓力范圍劃分為幾個(gè)區(qū)域,按每個(gè)區(qū)的平均壓力計(jì)算流導(dǎo) 計(jì)算抽氣時(shí)間 }按下式
vlI
抽氣時(shí)間
S
V 義抽速
設(shè)備容積 開始抽氣時(shí)的壓力,Pa; pn+1—經(jīng)1時(shí)間的抽氣時(shí)的壓力,Pa; p1與P2壓力區(qū)域
其余類推,L/s; 間的計(jì)算流 為P2與 p2,P3,…,P。所分的壓力區(qū)域各點(diǎn)壓力,Pa 的計(jì)算流導(dǎo) 利用圖36給出的一簇曲線,可以計(jì)算黏滯流狀態(tài)下的抽氣時(shí)間。圖3-6的橫坐標(biāo)表示 將容積1L的容器由大氣壓下降到10Pa時(shí)所需的進(jìn)間,縱坐標(biāo)表示泵的抽速 例如,機(jī)械泵的抽速為2L/s,管道直徑為3cm,長(zhǎng)250cm,真空設(shè)備的容積為50L, 計(jì)算設(shè)備從10Pa降到10Pa時(shí)所需要的抽氣時(shí)間
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