正宇真空設(shè)備
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
根據(jù)要求的工作壓力Pw和使用要求,選擇油擴(kuò)散泵為主泵。其真空抽氣機(jī)組如圖3-12 從圖3-12可知,擴(kuò)散泵上面安裝有中600單百葉窗障板;障板上面安裝有GDDJ600手 電兩用擋板閥,前級(jí)配有兩臺(tái)2X-70型機(jī)械泵組成真空機(jī)組
a)根據(jù)所需的有效抽速,考慮到加上障板、擋板閥后的泵的抽速損失,暫選抽速為 17000L/s的K-600T擴(kuò)散泵進(jìn)行試算 b)計(jì)算擴(kuò)散泵與真空室排氣管道的流導(dǎo),為驗(yàn)證選K-600T擴(kuò)散泵是否合適 總的流導(dǎo)C由高真空管道C1、障板流導(dǎo)C2、擋板閥流導(dǎo)C3串聯(lián)組成。
確定氣體沿管道的流動(dòng)動(dòng)態(tài)。當(dāng)真空室工作壓力Pw=2.67×10-2Pa,擴(kuò)散泵入口壓力 很低時(shí),故管道出口壓力可以忽略。管道中的平均壓力p=Pw/2=1.33×10Pa,此時(shí) pd=7.92×10-Pa·cm<2Pa·cm(d為管道直徑),可見(jiàn)為分子流 在分子流狀態(tài)下,高真空管道流導(dǎo)C1=11.64AaL/s,A為管道截面積,a為流導(dǎo)系數(shù)。當(dāng) L/d=125時(shí),得a=0.5,代入C1式得C1=1639/s;C2為15000/s,C3為12600/s C2C3+C1C3+C1C24830.6L/s 總流導(dǎo)C c)計(jì)算擴(kuò)散泵的抽速S。擴(kuò)散泵的抽速S由真空室所需的有效抽速S和總流導(dǎo)C決 定,計(jì)算公式為
14162.3L/s 由此可知,選擇K-600T擴(kuò)散泵是合適的。此泵在10-2~10-4Pa范圍內(nèi)的平均抽速為 16000~17000L/s,極限真空度p0=7×10-5Pa,能滿足本機(jī)真空系統(tǒng)為2.67×10-2Pa的 要求。而該泵的最佳工作壓力在1×10-2~1×10-4Pa,能滿足本機(jī)工作壓力Pw為2.67× 10-2Pa的要求。