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1超高真空油擴(kuò)散泵的極限壓力  超高真空油擴(kuò)散泵極限壓力是指沒(méi)有外來(lái)氣源的條件下,泵長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)所能達(dá)到  的最低壓力(即真空泵自身所能達(dá)到的最低壓力),此時(shí)泵的抽速為零。事實(shí)上,  測(cè)定擴(kuò)散泵極限壓力時(shí),需要裝上按國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的測(cè)試罩,并依照規(guī)定程序進(jìn)行  測(cè)定,此時(shí)測(cè)試罩內(nèi)的氣體負(fù)載,將影響到實(shí)測(cè)的極限壓力值。  泵的極限壓力可用下式表示:
P=P+QF+Oc

式中p—擴(kuò)散泵的極限壓力,Pa;  P—測(cè)試罩壁溫下泵油的飽和蒸氣壓,Pa  S擴(kuò)散泵的抽速,L/s;  Q-泵的返流氣體流量,Pa·L/s;  Q測(cè)試罩內(nèi)氣源的氣體流量(出氣量、漏氣量

從公式(21)可以看出,測(cè)試罩的Qc值,可通過(guò)超高真空焊縫及密封結(jié)構(gòu)設(shè)  計(jì)、焊接加工工藝及嚴(yán)格的檢漏規(guī)范,將漏氣量減少到允許值以下;對(duì)于材料的出  氣量,可采用300℃以上高溫烘烤和連續(xù)長(zhǎng)期抽氣的方法,以降低材料的出氣速  率。若不考慮測(cè)試罩、人口處泵壁的漏氣、材料放氣對(duì)極限壓力的影響,理論上影  響超高真空油擴(kuò)散泵極限壓力的主要因素是泵油的飽和蒸氣壓和泵的返流(泵的返  流包括油蒸氣和被壓縮的氣體返流)。它們和泵油的選用、泵油的分餾設(shè)計(jì)、泵油  的防返油結(jié)構(gòu)以及泵的噴口級(jí)數(shù)等有關(guān),因此,選用超高真空油擴(kuò)散泵時(shí),應(yīng)注意  y下泵的性能特點(diǎn)。