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維修資訊 -> 材料對超高真空的影響 超高直空系統(tǒng)清洗處理非常重要,清洗處理好與否,直接影響極限真空的獲得。良好值 清潔處理工藝,可以使材料的出氣率低幾個(gè)數(shù)量級,以不銹鋼為例,長期暴露于大氣,不進(jìn)后可到1×10-1.,,,若除油后再清洗,在250℃下烘15h,出氣率可到1×10-Pa·m3/(s·m2),使出氣率下降了近五個(gè)數(shù)量級 直空系統(tǒng)圳烤,對獲得超高真空是不可少的手段,一個(gè)設(shè)計(jì)合理的真空系統(tǒng),如果沒有 烘烤手段也沒有采取其他措施,無論選擇什么類型的真空泵抽氣,如擴(kuò)散泵、濺射離子泵 低溫泵泵等,只能獲得的工作壓力約為10-4~10-Pa數(shù)量級,極高真空10-6Pa量級,再高的真空度是不可能的
不銹鋼最有效的加速出氣方法有兩種:①在800-950℃下真空烘烤:②在400℃下空氣 中烘烤。真空烘烤應(yīng)在10-Pa下進(jìn)行,這樣可使材料中的氫濃度降低到最低限度。烘烤應(yīng)在2700Pa的純氧中進(jìn)行,以避免烘烤過程中,存在的水蒸氣對表面產(chǎn)生影響
烘烤時(shí)需要注意金屬玻璃封接件、金屬陶瓷封接件的烘烤溫度不應(yīng)超過400℃。銅墊圈不應(yīng)超過450℃玻璃烘烤溫度根據(jù)種類不同而異,其范圍為140~300℃內(nèi),非金屬材料為80-100℃·普通金屬材料為300~450℃
(3)抽氣技術(shù)
超高真空系統(tǒng)所用的主泵有油擴(kuò)散泵、濺射離子泵、鈦泵(蒸發(fā)式或升華式鈦泵)、渦 輪分子泵、低溫泵等,近年來國內(nèi)有用錯(cuò)鋁吸氣劑泵與其他泵類組合抽氣來獲得超高真空 對超高真空系統(tǒng)使用的真空泵要求,除通常的選泵原則外,還有 a.主泵極限真空要比真空裝置的工作真空高一個(gè)到一個(gè)半數(shù)量級,如工作真空選 1×10-Pa,那么泵的極限真空至少為1×10-7P b.在真空裝置工作真空范圍內(nèi),真空泵要有足夠的抽速,以便排走裝置中的氣體; c.主泵或者主泵人口到真空室排氣口的管道、冷阱、擋板、閥門等均能經(jīng)受250 450℃的烘烤;
d.主泵對被抽氣體有選擇性抽氣時(shí),應(yīng)配輔助泵聯(lián)會抽與
正宇真空設(shè)備zhengyu Vacuum equipment