正宇真空設(shè)備
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(1)泵的幾何抽速
當(dāng)除從圖442得知、由于轉(zhuǎn)千的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從吸氣口進(jìn)入泵腔,被封閉在吸氣腔 v之內(nèi)、再經(jīng)排氣口排出泵外,由于在吸入V??臻g內(nèi)的氣體沒(méi)有被壓縮,當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部轉(zhuǎn) 口邊緣時(shí),V空間這時(shí)與排氣側(cè)相通,由千1氣側(cè)氣體壓力較高,有部分高壓氣體 流到V空間內(nèi),使泵腔內(nèi)的壓力突然升高達(dá)到排氣壓力。此即所謂的外壓縮過(guò)程,轉(zhuǎn)子 續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),被抽氣體被排出泵外,兩個(gè)轉(zhuǎn)子的不斷運(yùn)轉(zhuǎn),即實(shí)現(xiàn)了羅茨泵的抽氣過(guò)程,轉(zhuǎn) 的主軸旋轉(zhuǎn)一周,共排出四個(gè)V。容積的氣體,因而,泵的幾何抽速為
…=4260=2xR21nkn10(L./s (4-41)式中n泵軸的轉(zhuǎn)數(shù),r/mm; R—轉(zhuǎn)子的半徑
1—轉(zhuǎn)子的長(zhǎng)度
轉(zhuǎn)子斷面系數(shù),已知轉(zhuǎn)子斷面形狀后,k0值便可確定 為了避免羅茨泵的誤操作,一般多設(shè)有旁路溢流閥。由泵的許可壓力差△P來(lái)設(shè)計(jì)旁路 溢流閥,可在大氣壓力下啟動(dòng),使羅茨泵和前級(jí)泵同時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),因而對(duì)容器的抽氣時(shí)間大 為縮短(達(dá)30%-50%),其結(jié)構(gòu)如圖441所示
在旁路溢流閥打開(kāi)期間,羅茨泵的抽速為
式中5、前級(jí)泵抽速
泵出口壓力
pA泵人口壓力;
△p—泵的溢流閥的許可壓力差,△p=P、PA
前級(jí)泵抽速
泵出口壓力
泵人口壓力
△P泵的溢流閥的許可壓力差,△P=P,一P 從式(4-42)可以看出,羅茨泵的抽速隨人 口壓力pA下降而有所增加,故可縮短啟動(dòng)時(shí)間 從圖4-46得知,曲線1為前級(jí)泵的抽速曲線 線2為羅茨泵在13hPa時(shí)啟動(dòng)的抽速曲線,曲線 為帶溢流閥的羅茨泵抽速曲線,圖上4為有溢流 閥工作,增加的抽速部分因而,有溢流閥的羅茨 泵可縮短啟動(dòng)時(shí)間 2)羅茨泵的有效抽速氣量
羅茨泵的有效抽氣量Qn可從理論抽氣量Q p/hP 和通過(guò)間隙從排氣側(cè)向吸氣側(cè)返流量Qv之差來(lái)確 圖446羅茨泵有、無(wú)溢流閥時(shí)抽速的比
當(dāng)羅茨泵的入口壓力為PA時(shí),理論抽氣量Q則為
對(duì)于羅茨泵的返流量Qv,可由兩部分組成。即式中Q 轉(zhuǎn)子與泵體間的間隙泄漏量
若間隙的流導(dǎo)為L(zhǎng),前級(jí)壓力為p、,則
子全部人舊級(jí)側(cè),而 快,沒(méi)
到高真空倒被解 由于羅皮聚的轉(zhuǎn)子 子暗合處的空?qǐng)D容積,即所謂的有害空間內(nèi)的氣體被帶回到高真空側(cè),這部分返流線和 真空例,引起返,如轉(zhuǎn)子 Q即
轉(zhuǎn)子返流速率 四此、有抽氣量Q則可用下式計(jì)算 (3)軍流量時(shí)壓蠟比 將羅口封閉,使Qm=0,由式(4-48)可得出 零流量壓縮比K。是羅茨泵最重要的性能參數(shù)
它可通過(guò)測(cè)量得到,它與氣體種類(lèi) 有關(guān)。壓縮比K。的最大值用Kamx表 羅茨泵的零流量壓縮比K0與出口壓力的關(guān) N側(cè)第二項(xiàng)小于,故近似將式4101) 447所示,因?yàn)镵0通
因而,式(4 較大,因而,的返流作 流作用相比可以略去,因而 圖
前級(jí)壓
在p,<10-1hP 的返流作用小于s,的返流 K 較高的
在這時(shí)有所增加,因而壓縮比K 滯流態(tài),流導(dǎo) 在向高的戶,方向上有所下降。在低的p,條件下,流導(dǎo)L處于分子流狀態(tài)是定值,這時(shí)受s 的影響,K0在向低的p,方向上也是降低的。而在p≈1hPa附近K。有最大值Komx出現(xiàn) 如圖4-47所示 泵的尺寸增加使泵的s1比L增加的快,因此大容量的羅茨泵的K。也有所增加 447上也能看出,大泵的K0較高, pA.。(在羅茨 羅茨泵的極限壓
用前級(jí)泵的極限壓力 和前級(jí)泵構(gòu)成機(jī)組 比來(lái)求得 和與其相對(duì)應(yīng)的
K
(4-53) K0=10,故羅茨泵的極限壓力為p,=1×10-3hPa 雙級(jí)羅茨泵的壓縮比約等
)這時(shí)對(duì) 例如p=1×10-2hPa,對(duì)于 RUVAC WA1000泵來(lái)說(shuō)(見(jiàn)圖4-47 壓力
壓縮比的連級(jí)某可得到更低的極限
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