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    安裝在油擴散泵進氣口用以降低泵液的返流和返遷移的裝置稱為擋板。泵液的  返流可依空間途徑和沿泵壁蠕動爬移兩種方式進入容器。用于超高真空的擋板不僅  要求具備光學(xué)密閉用以阻擋油蒸氣分子通過泵入口直接進入容器，還應(yīng)當(dāng)具有良好  的防爬性能。根據(jù)擋板所使用的冷卻介質(zhì)，可將擋板分為水冷擋板和氟利昂擋板，  前者冷卻溫度為15~10℃(地區(qū)供水溫度),后者常用的制冷介質(zhì)有氟利昂12和  氟利昂22,采用氟利昂22的制冷設(shè)備單極可獲得一40℃的低溫，輔以二次酒精流  程，溫度可達—100℃,因而捕集泵油的返流效果更好，可獲得106~10Pa的  真空度，但它的冷卻系統(tǒng)需要配置相應(yīng)的制冷設(shè)備，和水冷系統(tǒng)比較，價格昂貴，  噪聲大，占地面積大，故障率高。在擋板與阱配合使用的情況下，選用氟利昂擋  板，實際效果不大。擋板的冷卻一般有直冷和間接冷卻兩種方式，圖3-51為直接  通入冷卻介質(zhì)的結(jié)構(gòu)形式，冷卻效果好，缺點是不易清洗，特別是盤管與冷卻板的  焊接狹縫部位，可能還會出現(xiàn)虛漏，一旦盤管出現(xiàn)漏氣時修復(fù)困難。圖3-52所示  為間冷式擋板，依靠撐緊結(jié)構(gòu)緊貼在擋板內(nèi)壁的冷卻筒來冷卻擋板，冷卻效果不如  直冷式，特別是圖3-52(a)中間的擋板靠焊在上面的導(dǎo)熱筋板冷卻，冷卻效果差。  圖3-52(b)所示為半月形擋板是直接焊在冷卻桶上，熱傳導(dǎo)面積較大，冷卻效果  較(a)好。間冷式的優(yōu)點是加工、清洗及真空泵維修容易。

擋板的另一個性能指標(biāo)是應(yīng)具有較大的流導(dǎo)，這樣才能夠有效地發(fā)揮泵的抽  速。用蒙特卡洛法給出的不同擋板的比流導(dǎo)(單位進氣口面積的流導(dǎo))和最大二次  束流角見表3-20。