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 排氣閥是旋片泵主要易損件之一,將影響  泵的抽氣性能并產(chǎn)生噪聲。排氣閥有兩種形式:一種是用  橡膠墊做閥片,如圖422(a)所示;另一種是用布質(zhì)酚醛  層壓板或彈簧鋼片做閥片,如圖422(b)所示。排氣閥必  須浸在泵油中。在排氣過程中,壓縮氣體推開排氣閥片,  穿過泵油排出,泵油起到密封的作用。

    濺射離子泵不能在高于1Pa壓力下啟動,必須用預(yù)抽泵將泵和容器從大氣抽  到泵規(guī)定的啟動壓力以下才能啟動。濺射離子泵的預(yù)抽,可以采用下面四種  方式。  ①干式機(jī)械泵。干式機(jī)械泵無油蒸氣的污染,用做濺射離子泵的預(yù)抽,可獲  得全無油清潔的超高真空。但是須要多級串聯(lián)或相互組合,適用的干式泵的極限壓  力見表2-15。  ②油封機(jī)械泵加吸附阱或離子阱。前者可以抽到10-2~10-3Pa,后者只能抽  到10-Pa,都能使濺射離子泵順利啟動

B泵的啟動與停止  通常旋片泵由三相交流電機(jī)驅(qū)動特別注意電源線的連接,以保證旋轉(zhuǎn)方向的正確,否則,  泵油將被排到真空室。因此泵應(yīng)設(shè)置反向制動以防止泵的反轉(zhuǎn)。當(dāng)電源線接錯時,泵不能啟  動。為防止電機(jī)燒壞,還應(yīng)設(shè)置過載開關(guān),通常為溫控開關(guān)。  停泵時,出口空氣的壓力將使泵反轉(zhuǎn),會使泵油返到真空室中,空氣也會進(jìn)入真空室破壞  真空。

設(shè)計一套使用方便而又工作可靠的真空系統(tǒng),選取主泵是個關(guān)鍵問題。選取主泵不能只  選泵及配泵  追求某一項指標(biāo),必須根據(jù)使用條件多方面綜合考慮。真空系統(tǒng)選取主泵的主要依據(jù)如下  ①空載時真空室所需要達(dá)到的極限真空度  根據(jù)真空室所需要建立的極限真空確定主泵的類型,選取主泵的極限真空要比真空室的  極限真空高,通常高半個數(shù)量級到一個數(shù)量級  ②根據(jù)真空室進(jìn)行工藝生產(chǎn)(或?qū)嶒?時所需要的工作壓力選主泵

2)各種形狀和溫度的題射屏(液N溫度),(3)8→低溫介質(zhì)(液氮)冷卻的抽氣數(shù)圓  D.1.6.1低溫冷雙果
如圖p4所示,低溫冷凝泵由三種部件組成  圖9-4(n)是第一代泵的結(jié)構(gòu)簡圖.基木t  液氮容器,底  部作為抽氣  銹鋼  氮容器包圍,冷  抽氣面鍍銀,且擋板
射極小的熱輻射  措施,顯著地降低了  溫表面的熱負(fù)荷,因而使氫的平衡壓強(qiáng)大為降  低。2.3K的鍍銀低溫表面可以獲得(9.33±  的氫平衡壓強(qiáng)  圍以  2.66)X
卻擋板  屏蔽時,氫平衡壓強(qiáng)趨近于