正宇真空設(shè)備
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低溫泵維修之極限壓力調(diào)試情況說明
p√7式中P—低溫泵的理論極限壓力 低溫板溫度T。下的氣體飽和蒸氣壓,Pa;T—入射到低溫板的氣體溫度,K;7—低溫板溫度,K當(dāng)7k=300K,7,=20K,代入式(230)得
分子泵維修之渦輪分子極限壓力的產(chǎn)生過程
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