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     漏油是愛德華機(jī)械真空泵常用的一種異?，F(xiàn)象，主要在油鏡，油箱密封處，還有就是電機(jī)軸承這幾個(gè)位置，造成漏油的原因主要是這些部位老化，密封失效導(dǎo)致的。

    超高直空系統(tǒng)清洗處理非常重要,清洗處理好與否,直接影響極限真空的獲得。良好值  清潔處理工藝,可以使材料的出氣率低幾個(gè)數(shù)量級(jí),以不銹鋼為例,長期暴露于大氣,不進(jìn)后可到1×10-1.,,,若除油后再清洗,在250℃下烘15h,出氣率可到1×10-Pa·m3/(s·m2),使出氣率下降了近五個(gè)數(shù)量級(jí)  直空系統(tǒng)圳烤,對(duì)獲得超高真空是不可少的手段,一個(gè)設(shè)計(jì)合理的真空系統(tǒng),如果沒有  烘烤手段也沒有采取其他措施,無論選擇什么類型的真空泵抽氣,如擴(kuò)散泵、濺射離子泵  低溫泵泵等,只能獲得的工作壓力約為10-4~10-Pa數(shù)量級(jí),極高真空10-6Pa量級(jí),再高的真空度是不可能的

 
低溫泵長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),泵的抽速隨抽氣時(shí)間延長面逐漸良減,當(dāng)抽速下降到原  (3)低溫泵的最大抽氣容量(和抽氣容量)
快,此時(shí),需要停止運(yùn)轉(zhuǎn)升溫再生,用以恢復(fù)泵的原有的抽氣絲必,出了ZDB  500型制冷機(jī)低溫泵抽氫的氣容量曲線,超過飽和抽氣容M267給  始抽速60%時(shí),所累積抽除的總氣量稱為“飽和抽氣容量”,圖  衰減很

渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)示意圖和渦輪葉片展開圖如圖4-51及圖452所示。從圖中可知,泵  的轉(zhuǎn)子和定子都裝有多層(一般為15~31層)渦輪葉片,轉(zhuǎn)子與定片葉片的傾斜面方向相  反。每一個(gè)轉(zhuǎn)子處于兩個(gè)定片之間。渦輪分子泵工作時(shí),轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)迫使氣體分子通過葉  片從泵的上部流向出口,從而產(chǎn)生抽氣作用。排出的氣體經(jīng)排氣管道由前級(jí)泵抽走