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 轉(zhuǎn)子和旋片轉(zhuǎn)子和旋片是旋片泵的核心部件。轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)有三種形式：整體式、壓  套式和轉(zhuǎn)子盤式。其中，整體式結(jié)構(gòu)加工件和裝配量少，但旋片槽加工較困難，難以達(dá)到高  精度，較適于大泵。 

    磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)是利用離子在垂直于磁場(chǎng)的平面運(yùn)動(dòng)中，不同質(zhì)量的離子有不同  偏轉(zhuǎn)半徑的原理來實(shí)現(xiàn)質(zhì)量分離的。用于真空測(cè)量的磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜應(yīng)具有體積小、真  空性能好、便于真空系統(tǒng)安裝等特點(diǎn)，其結(jié)構(gòu)通常選用60°、90°、180°三種偏轉(zhuǎn)角  形式。圖4-14所示為180°磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)結(jié)構(gòu)原理  具有質(zhì)荷比為m/e的離子從離子源引出，經(jīng)加速電壓U加速后，以一定速度v

    全無油抽氣系統(tǒng),濺射離子泵是最常見一種,它與前面介紹的幾種抽氣系統(tǒng)最大的區(qū)別  除了粗抽階段之外,正常運(yùn)轉(zhuǎn)期間,被抽氣體沒有排到大氣中去,而是儲(chǔ)存在泵內(nèi)的鈦限  中。操作簡便、無振動(dòng)噪聲、無有重碳?xì)浠衔镂廴?若粗抽時(shí)采用吸附泵或無油機(jī)械泵  不存在粗抽泵的污染問題,廣泛用于需要潔凈的小型超高真空裝置中。