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    全無油抽氣系統(tǒng),濺射離子泵是最常見一種,它與前面介紹的幾種抽氣系統(tǒng)最大的區(qū)別  除了粗抽階段之外,正常運(yùn)轉(zhuǎn)期間,被抽氣體沒有排到大氣中去,而是儲(chǔ)存在泵內(nèi)的鈦限  中。操作簡便、無振動(dòng)噪聲、無有重碳?xì)浠衔镂廴?若粗抽時(shí)采用吸附泵或無油機(jī)械泵  不存在粗抽泵的污染問題,廣泛用于需要潔凈的小型超高真空裝置中。它的主要問題是抽氣  容量問題,由于氣體是以吸附在鈦膜內(nèi)方式,理論上泵的壽命與工作壓力成反比,因此它的  長期工作壓力越低,壽命越長,工作在10-2Pa的壽命是10-Pa的壽命的百分之

其次  是泵的磁場問題,需要用于對(duì)磁場有限制的場所,就需要對(duì)其磁場進(jìn)行屏蔽  圖326是用于表面研究的濺射泵吸附泵組成的無油超高真空系統(tǒng)。

 
為了彌補(bǔ)濺射離子泵的抽速小、容量有  限的缺點(diǎn),采用濺射離子泵與鈦升華泵組成  抽氣機(jī)組。主泵是鈦升華泵,吸氣面用液氮  冷卻,鈦升華泵可直接裝在真空室內(nèi),也可  以向圖中所示的將鈦升華泵與濺射離子泵并  聯(lián)(或串聯(lián))在一起。真空室1用不銹鋼制  m,容積100L,  成,直徑45

高  法蘭采用銅墊圈密封,粗抽用三個(gè)分子

篩泵  及無油機(jī)械泵。系統(tǒng)用無油機(jī)械泵從大氣抽  到10~100Pa,然后啟動(dòng)分子篩吸附泵預(yù)抽,  圖3-26濺射離子泵-吸附泵抽氣系統(tǒng)  1真空室;2一無油機(jī)械泵;3一分子篩吸附泵;這種方法比較經(jīng)濟(jì),并且能夠極大地縮短預(yù)  射離子泵鈦升華泵
抽時(shí)間。也可以使用分子篩泵直接從大氣預(yù)  抽,但是需要更大容量的吸附泵,還需要采用二級(jí)或三級(jí)吸附抽氣。二級(jí)抽氣方法是先用  級(jí)從大氣粗抽到1000Pa,關(guān)閉一級(jí)吸附泵,再用二級(jí)泵抽到0.4~0.2Pa。三級(jí)抽氣是第

 
3.5超高真空系統(tǒng)及抽氣機(jī)組((11  級(jí)抽到3000~5000Pa,第二級(jí)抽到15Pa,第二級(jí)抽到0.1Pa。通常當(dāng)真空室達(dá)到5×10-1  Pa時(shí)就可以關(guān)閉分子篩吸附泵啟動(dòng)鈦升華泵,當(dāng)真空室壓力降低到5×10-2Pa時(shí)就可以啟  動(dòng)離子泵。  根據(jù)工藝流程中的工作壓力盡可能讓離子泵工作在10-3Pa或更低的壓力下,這樣能夠  大大延長離子泵的使用壽命。在鈦泵工作期間,可根據(jù)氣流量采用連續(xù)蒸發(fā)或斷續(xù)蒸發(fā),  般說來,高壓力下需要連續(xù)蒸發(fā),低壓下(例如10=5Pa)可以斷續(xù)蒸發(fā),隨著壓力降低,  蒸發(fā)時(shí)間間隔可以不斷加長,直至關(guān)閉鈦泵,讓離子泵單獨(dú)工作  圖中的真空系統(tǒng)典型的運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)為:真空室200℃下烘烤3.5h后的真空度為10-8Pa  抽氣30h后達(dá)到的極限壓力<1×10-8Pa。
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