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     惰性氣體的存在,特別是抽除氬氣時,二極濺射離子泵內(nèi)往往出現(xiàn)不穩(wěn)定性,  這種不穩(wěn)定以三種形式出現(xiàn)  第一種是周期性的不穩(wěn)定,如圖235所示,壓力周期性地升高到原有壓力值  的數(shù)百倍。這種現(xiàn)象往往出現(xiàn)在系統(tǒng)中有較大漏孔,長期抽除漏入大氣中氬的積累  引起的,因此又稱為氬的不穩(wěn)定性。在抽除純氬或沖入純氪、氙時,更容易觀察到  這種現(xiàn)象。產(chǎn)生的主要原因與潘寧放電的特性有關(guān)。在濺射離子泵的放電小室內(nèi),  離子轟擊陰極板形成的轟擊斑點的圖形隨工作壓力變化,如圖2-36所示。壓力低  于10-10Pa,集中于陰極中心的轟擊斑點是一個小圓點,壓力升高,斑點隨之?dāng)U  大,當(dāng)壓力升高到10-8Pa以上,離子轟擊斑點逐漸擴(kuò)展成一圓環(huán),使原先埋藏在  圓環(huán)邊沿區(qū)氬的脫附率顯著上升,當(dāng)它的脫附率超過吸附率時,空間的氬分壓顯著

升高,并引起轟擊斑點的擴(kuò)張,使新增加的圓斑邊緣區(qū)埋藏的氬進(jìn)一步釋放,氬分  壓隨之急劇上升。一旦全部放出后,氬的埋葬區(qū)變成清潔區(qū),又可以大量吸收氣  體,真空度迅速恢復(fù)到原先本底壓力。如此循環(huán),便形成這種典型的周期性的氬的  不穩(wěn)定性。  第二種是連續(xù)脫附引起的不穩(wěn)定。當(dāng)二極濺射離子泵在連續(xù)抽除有漏洞的系統(tǒng)  時,由于陰極板轟擊區(qū)不斷的放氣,隨抽氣量的累積,鈦的放氣量逐漸引起壓力上  升。這種壓力上升后不再回落的現(xiàn)象稱為連續(xù)脫附引起的不穩(wěn)定現(xiàn)象,曲線如圖  237所示。差異型濺射離子泵(陰極用TiAg)抽氦時就會產(chǎn)生這種不穩(wěn)定,解決  的方法,用其他真空泵抽除積累的氦氣

第三種不穩(wěn)定是由于鈦吸附飽和(壽命終止)引起的。圖2-38顯示這種不穩(wěn)  定壓力上升現(xiàn)象,是一種很陡的壓力持續(xù)上升曲線。這種不穩(wěn)定現(xiàn)象是由于陰極很  快被這些低原子量的氣體所飽和,隨后擴(kuò)散到金屬內(nèi)部,使泵完全喪失抽氣作用  氬不穩(wěn)定性(周期性不穩(wěn)定)與濺射產(chǎn)額無關(guān),它主要取決于陰極中重原子質(zhì)  量與氣體離子質(zhì)量之比R。R有一最小值Rmm,通常Rmn=2.4~2.7。當(dāng)R<R  時,就會出現(xiàn)氬的不穩(wěn)定,反之,泵工作時就穩(wěn)定。不同結(jié)構(gòu)的濺射離子泵,R
值不相同,表2-12是二極濺射離子泵出現(xiàn)氬的不穩(wěn)定性與陰極材料和被抽氣體的  關(guān)系。

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