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       彎注抑制規(guī)如圖4-3所示，由陰極、電子加速柵極(加速極)、離子聚焦極、  輔助陽極、抑制極、離子收集極、內(nèi)偏轉(zhuǎn)極、外偏轉(zhuǎn)極和屏蔽罩組成。由陰極、電  子加速柵極構(gòu)成規(guī)的電離系統(tǒng)和由屏蔽罩抑制極和離子收集極構(gòu)成離子收集系統(tǒng)。  在電離系統(tǒng)和離子收集系統(tǒng)之間，設(shè)置了一個(gè)90°離子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括聚  焦極，內(nèi)、外偏轉(zhuǎn)極。  規(guī)的工作原理為：規(guī)管內(nèi)被測氣體分子在柵極框被電離為正離子，離子被離  子聚焦極引出并聚焦后經(jīng)靜電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)偏轉(zhuǎn)90°后進(jìn)入離子收集系統(tǒng)。該結(jié)構(gòu)使  加速極產(chǎn)生的軟X射線不能直接照射到收集極的表面，同時(shí)x射線的反射部分  也因經(jīng)過多次來回才能抵達(dá)而大為減弱。另外，由于有屏蔽罩和抑制極的存在，  還可以對小部分軟X射線引起的光電流進(jìn)行抑制，使光電流的影響進(jìn)一步減小  在理論上彎注抑制規(guī)的測量下限比抑制規(guī)低兩個(gè)數(shù)量級，達(dá)到10-12Pa。但由于  高溫?zé)艚z存在，陰極的蒸氣壓和出氣速率都可能影響小于10-1Pa壓力的獲得。  此外，極間電極漏電及弱電流測量等問題，彎注抑制規(guī)的實(shí)際測量下限為  10-1Pa。輔助陽極的作用是供偏轉(zhuǎn)電極進(jìn)行電子轟擊除氣而用。除氣功率約為  700V×200mA。  目前，彎注抑制規(guī)是極高真空規(guī)中最好的一種規(guī)型，性能穩(wěn)定可靠。在沒有極  高真空校準(zhǔn)系統(tǒng)條件下，大都以彎注抑制規(guī)的讀數(shù)作為壓力參考值。  彎注抑制規(guī)的電參數(shù)一般選擇為：加速電壓VA=200V;陰極對地電壓VK  25V;V
450V。Vc=Vsh=VE=0(地電位)。燈絲發(fā)射電流  340V: VD  。=2mA;規(guī)管系數(shù)為0.15Pa-

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