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   為了滿足超高真空分壓力測(cè)量的使用要求，操作者應(yīng)根據(jù)質(zhì)譜計(jì)主要技術(shù)指標(biāo)  選擇適當(dāng)?shù)膬x器。真空質(zhì)譜計(jì)的技術(shù)指標(biāo)通常包括：質(zhì)量范圍、分辨本領(lǐng)、分壓力  靈敏度、最小可檢分壓力、最大工作壓力、掃描速度和最小可檢濃度等項(xiàng)。  (1)質(zhì)量范圍  質(zhì)量范圍是指質(zhì)譜計(jì)在具有一定靈敏度和分辨本領(lǐng)的條件下，儀器能夠工作的  最小質(zhì)量數(shù)到最大質(zhì)量數(shù)之間范圍，用質(zhì)量數(shù)M表示。質(zhì)量范圍的下限是用真空  系統(tǒng)殘余氣體的譜峰來確定，通常，選用原子態(tài)氫離子的質(zhì)量數(shù)M=1u定為質(zhì)量  范圍下限(最小質(zhì)量數(shù))。質(zhì)量范圍上限是用測(cè)量樣品氣體譜來確定，樣品氣體應(yīng)  盡量選擇分子量(或原子量)接近質(zhì)量范圍上限。在沒有適當(dāng)樣品氣體時(shí)，可按照  質(zhì)譜計(jì)的質(zhì)量掃描參數(shù)和質(zhì)量標(biāo)度的關(guān)系，根據(jù)掃描參數(shù)的數(shù)值用外推方法計(jì)算  出來
在超高直空分壓力測(cè)量中，質(zhì)借計(jì)該項(xiàng)指標(biāo)的選擇是依據(jù)被測(cè)氣體組分而確定  的，需要考慮超高真空的殘余氣體和被檢樣品氣體組分的分子量大小兩個(gè)因素。質(zhì)  量范圍的下限應(yīng)保證對(duì)H2的M=1u的質(zhì)量峰可靠測(cè)量質(zhì)量范圍上限的選擇根  被測(cè)氣體的最大質(zhì)量數(shù)確定，超高真空的殘余氣體測(cè)量的最大質(zhì)量數(shù)選擇M=  50u就可以了。如果需要檢測(cè)丙酮、苯等微量殘余氣，儀器的質(zhì)量范圍上限應(yīng)選擇  M=100u,對(duì)氙氣的測(cè)量需要選擇質(zhì)諧計(jì)的質(zhì)量范圍上限M=150u
(2)分辨本領(lǐng)  分辨本領(lǐng)是表征質(zhì)譜計(jì)分辨質(zhì)量數(shù)M和M+△M兩個(gè)相鄰質(zhì)譜峰的能力，通  常用M/△M表示，△M被稱為絕對(duì)分辨率，用質(zhì)量數(shù)M峰的某高度處的峰的寬度表示。真空質(zhì)譜計(jì)通常在10%或50%峰高處測(cè)量△M。  用于超高真空系統(tǒng)分壓力測(cè)量對(duì)分辨本領(lǐng)要求不高，一般△M=1(10%峰  高)就夠了。為了簡(jiǎn)化定量測(cè)量用峰高代表該組分強(qiáng)度，要求質(zhì)諧計(jì)在質(zhì)量范圍內(nèi)為恒峰寬，即分辨本領(lǐng)△M恒定。
(3)分壓力靈敏度(靈敏度)  質(zhì)譜計(jì)靈敏度定義為：輸出離子流變化量△I除以引起這種變化的氣體分壓力變化值△P。靈敏度的表示形式有兩種：  第一種方法采用單位壓力的離子流表示，單位為A/Pa,該方法是固定一定發(fā)射電流，不計(jì)其數(shù)值；  第二種方法采用單位收集電子流和單位壓力的離子流表示，單位為1/Pa。  通常質(zhì)譜計(jì)靈敏度和分辨本領(lǐng)、掃描速度等其他參數(shù)有關(guān)，因此測(cè)量質(zhì)譜計(jì)靈  敏度時(shí)應(yīng)規(guī)定質(zhì)譜計(jì)工作參數(shù)。此外，靈敏度受到電極污染、倍增器增益衰減、燈  絲位置變化的影響而變化，所以在進(jìn)行分壓力測(cè)量時(shí)，必須對(duì)靈敏度進(jìn)行定期校  準(zhǔn)。超高真空分壓力測(cè)量應(yīng)盡量選擇靈敏度高的質(zhì)譜計(jì)。
(4)最小可檢分壓力  該項(xiàng)指標(biāo)標(biāo)征質(zhì)譜計(jì)靈敏度、離子流檢測(cè)、離子流記錄等綜合能力。通常用公

式(4-14)來表示。  (4-14)  Pin=2IN/S

式中 Pmi  最小可檢分壓力  ⅠN—離子流檢測(cè)系統(tǒng)記錄到的本底噪聲，A;  S質(zhì)譜計(jì)靈敏度，A/Pa。  噪聲是由虛假的輸出指示引起的零輸出基線的快速變化，噪聲可以根據(jù)規(guī)定進(jìn)
通常質(zhì)諧計(jì)最小可檢分壓力的技術(shù)指標(biāo)和離子收集方式有關(guān)。采用法拉第筒收  行測(cè)試  集和倍增器收集的質(zhì)譜計(jì)，可給出兩個(gè)最小可檢分壓力數(shù)值：一個(gè)為法拉第離子收  集方式下最小可檢分壓力；另一個(gè)為倍增器離子收集方式下最小可檢分壓力。倍增  器收集的最小可
的質(zhì)量分離功能、離子源具有一定的離子產(chǎn)額、燈絲可以正常工作，  壓力關(guān)系有較大線性偏離。對(duì)用于分壓力測(cè)量的質(zhì)譜計(jì)，最大工作壓力被定義為  在壓力范圍內(nèi)，離子流與壓力呈線形關(guān)系。超高真空測(cè)量對(duì)質(zhì)誚計(jì)該項(xiàng)指標(biāo)要求不

嚴(yán)格。
(6)掃描速度  通過改變質(zhì)量掃描參數(shù)，使質(zhì)譜計(jì)在整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)進(jìn)行質(zhì)量掃描。掃描速度  可以用單位時(shí)間內(nèi)獲得的質(zhì)量數(shù)(u/s)表示，也可以用掃描一個(gè)質(zhì)量所需時(shí)間  (s/u)來表示。質(zhì)譜計(jì)掃描速度和分析器的工作類型及相應(yīng)的電子控制線路有很大  關(guān)系，如飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)是根據(jù)所謂“渡越時(shí)間”的原理進(jìn)行質(zhì)量分離的，在老秒  或更短時(shí)間內(nèi)，可以完成一次譜峰掃描。而磁偏轉(zhuǎn)真空質(zhì)譜計(jì)，質(zhì)量掃描是通過改
變離子引入電壓實(shí)現(xiàn)的，電壓值通常為幾千伏，因此掃描速度不能太快。四極質(zhì)諧
計(jì)質(zhì)量掃描是通過改變施加在電極上高頻電壓幅值實(shí)現(xiàn)的，具有較快的掃描速度  操作者應(yīng)根據(jù)具體使用目的選擇儀器該項(xiàng)指標(biāo)。
(7)最小可檢濃度
該項(xiàng)指標(biāo)是表征質(zhì)譜計(jì)對(duì)混合氣體中可測(cè)量到某種最小組分的參數(shù)，通常用壓  力分?jǐn)?shù)P小/P全來表示。式中的P為混合氣體中某種組分的最小分壓力，p全  為混合氣體的全壓力。在一些特殊使用的場(chǎng)合中，要求質(zhì)譜計(jì)能給出某種氣體組分  的體積分?jǐn)?shù)或壓力分?jǐn)?shù)(濃度),如空間材料在空間環(huán)境出氣性能測(cè)量中，對(duì)某些  有害氣體濃度檢測(cè)希望檢測(cè)到有害氣體的體積分?jǐn)?shù)小于1×106(1ppm)。此時(shí)儀  器的使用者應(yīng)將最小可檢濃度的指標(biāo)作為重要考慮依據(jù)。特別注意選擇在大離子峰  附近檢測(cè)微小信號(hào)峰具有良好功能的儀器
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