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渦輪分子泵工作特性主要表現(xiàn)在如下幾個方面  (1)抽速與轉(zhuǎn)速的關(guān)系  抽速與轉(zhuǎn)速大致有

S

(4-67)  的關(guān)系。其中：g是決定于幾何形狀的常數(shù)；u為動葉片的轉(zhuǎn)速。實(shí)測結(jié)果如圖4-61所示  即抽速隨轉(zhuǎn)速的增加比直線稍慢。這可由抽速高時進(jìn)氣管道流導(dǎo)的限制作用來解釋，依式  (4-66),S將隨S1增大而偏離直線。  (2)抽速與進(jìn)口壓強(qiáng)的關(guān)系  分子泵在分子流的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，其抽速幾乎不變。因?yàn)榉肿恿鲿r流導(dǎo)C與壓強(qiáng)無關(guān)；  又依式(4-65),S1只決定輪葉形狀、轉(zhuǎn)速及氣體種類，也與壓強(qiáng)無關(guān)。故依式(4-66),實(shí)  際抽速也就與壓強(qiáng)無關(guān)。但當(dāng)壓強(qiáng)增高到不滿足分子流條件時(約為2×101Pa),由于大  部分分子與輪葉不能直接碰撞，抽速因此迅速下降。如圖4-62中的右邊部分，曲線1、2、3  對應(yīng)不同的前級泵

(3)壓縮比與轉(zhuǎn)速及相對分子質(zhì)量的關(guān)系  壓縮比與轉(zhuǎn)速及相對分子質(zhì)量的平方根有指數(shù)關(guān)系

(G

(4-68  K  式中，G為決定于幾何形狀的參數(shù)  實(shí)測結(jié)果與式基本符合。如圖4-63所示
為壓縮比，其中：p表示前級泵口的壓  力，力。表示分子泵入口壓力。同一轉(zhuǎn)速下，大氣體分子壓縮比大，極限真空高，輕氣體分  子，壓縮比小，極限真空低，即分子泵極限真空中以輕分子為主；換句話說，分子泵抽除像  氫氣、氦氣等輕分子的能力差。分子量大的氣體，壓縮比較高。這是渦輪分子泵可用來獲得  潔凈真空的物理基礎(chǔ)。  (4)壓縮比與前級壓強(qiáng)的關(guān)系  通常分子泵選擇機(jī)械泵作為前級泵，當(dāng)前級壓強(qiáng)滿足一定要求時，分子泵工作穩(wěn)定，壓  縮比保持常數(shù)。如圖464所示，當(dāng)前級壓強(qiáng)上升到1Pa時，小質(zhì)量數(shù)的分子壓縮比開始下  降，當(dāng)前級壓強(qiáng)上升到數(shù)十帕?xí)r，壓縮比急劇下降，分子泵便不能正常工作。

(5)抽速與氣體種類的關(guān)系  抽速與氣體種類有如圖4-65所示的關(guān)系，即隨的變化比直線略慢。這是因?yàn)樵谵D(zhuǎn)速  定時，P大的氣體固然其速率比值大，因而輪葉的何氏系數(shù)大，但它們在進(jìn)氣管道的流導(dǎo)  都因增大而減小。兩者綜合的結(jié)果使S與v的關(guān)系變化緩慢

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