正宇真空設(shè)備
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愛德華RV12型泵;圖3-5是2X-1型雙級旋片泵的剖面圖。氣 體被抽除的路徑由圖中箭頭所示。排氣活門(閥片10)是用耐油 橡膠板做成。為防止固體微粒落入泵內(nèi)損傷表面,特在進(jìn)氣管 里裝有進(jìn)氣濾網(wǎng)(1)在排氣閥上裝了油氣分離室(1),用它把 被抽氣體所帶的油滴與氣體分離開,油流回箱里,氣體與部分 油霧混合物排到大氣中去。整個泵體浸在油箱(12)中,淹沒泵
的排氣閥,從而保證整個泵體密封。軸封(17)用的是耐油橡膠 密封墊圈,用壓板在軸外固定(參3-23) RV12型高速直聯(lián)旋片泵:圖3-6是RV28型泵結(jié)構(gòu)。 它與原結(jié)構(gòu)的RV12型比,抽速相同,但重量和體積都只有原 。高 泵的三分之一。
的目前生產(chǎn)的高速直聯(lián)旋片泵是雙級泵,采用油浸式小五片 結(jié)構(gòu)。泵芯和傳動電機(jī)(4)分別同心地安裝在支座(6)的兩側(cè)。 套筒聯(lián)軸器(5)的一端固定在電機(jī)軸頸上,另一端則與轉(zhuǎn)子(9) 的軸頭相連,直接驅(qū)動轉(zhuǎn)子。泵芯一側(cè)的支座端面上裝有一箱 體(8),其外端通過法蘭(15)將泵芯壓緊在支座上,構(gòu)成一剛性 較強(qiáng)的整體。泵芯沿用了傳統(tǒng)的小五片〔前蓋(7)、高真空級或 后級泵腔(10)隔板(11)、低真空級或前級泵腔(13)后蓋(1)
組合構(gòu),高真空級轉(zhuǎn)子(9)由前蓋和隔板上的滾動軸承支承, 低真空氨轉(zhuǎn)子(12)則安裝在高真空級泵腔向低真空級泵腔仰出 的頭上。小五片均出假鉛制成,表面作硬質(zhì)阻極氧化處理, 生長一層耐磨的氧化們膜。高低級轉(zhuǎn)子果用三槽整體結(jié)構(gòu),以 增加結(jié)構(gòu)剛性,適應(yīng)高轉(zhuǎn)速的要求。旋片(3)的材料是滲鋁碳 素,取其耐磨性能良好的優(yōu)點(diǎn)。 抽速為8升秒的直聯(lián)泵高、低真空級泵腔(缸)的直徑均為 d10米,高、低轉(zhuǎn)子直徑均為86毫米,而高真空級泵腔長 120毫米,低真空級泵腔長30毫米;泵進(jìn)氣口直徑中32毫米。 泵的偏心距較小,并用三槽整體轉(zhuǎn)子,抽速不但比雙槽提
高20%,而且轉(zhuǎn)動平穩(wěn),振動、噪音均小。在轉(zhuǎn)速1420轉(zhuǎn)時,
溫升到50℃,極限壓強(qiáng)用熱偶計測達(dá)8×108托:直聯(lián)泵特性參
圖3-32b
旋片厚度為10毫米,這是根據(jù)滲鋁碳素材料的特性確定的。
其他方面,在后面討論時還會提到。
E2M80型泵:圖3—7是E2M275型旋片泵中最大的泵 之結(jié)構(gòu)圖。前面舉的小泵均采用雙級串聯(lián)方式。工作時,只高 真空級泵承擔(dān)全部抽氣作用。當(dāng)初始抽氣時,高真空級排氣的 壓力能夠打開排氣閥片,氣體排出一部分,另一部分由低真空 級閥片排出。此時低真空級只相當(dāng)于輸氣通道。對于大泵來講 低真空級不承擔(dān)排氣是種浪費(fèi),故E2M275采用并串聯(lián)結(jié)構(gòu) 在泵的兩級通道之間加一個手動變換閥,使前后兩級可并聯(lián)亦 可串聯(lián)進(jìn)行排氣。前)小量這的腰 圖3—70、b是該泵高,低真空級泵腔剖面圖。
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