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  分子真空泵(簡稱分子泵)是1913年德國人蓋得(W. Gaede)首先發(fā)明的.他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎(chǔ)  然分子泵是一種機械泵、但它已擺脫了那種靠容積變化來抽氣的容積泵原理,而是靠高  速運動的剛體表面來攜帶氣體分子實現(xiàn)抽氣的一種新型機械直空泵,通常把用高速剛體表面  帶氣體分子按一定方向運動的現(xiàn)象稱為分子牽引,或稱為氣體的外摩擦輸運現(xiàn)象。因此,人們  把面再發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵,這種泵具有動時間短,抽重氣體比抽輕氣體快等一系  列優(yōu)點。但由于它的密封間隙小,容易引起機械故障以及加工精度要求高等,除特殊需要外  實際上很少應(yīng)用,曾有些人做過不少改進,出現(xiàn)過幾種不同類型的牽引分子泵,但由于抽速低沒有推廣應(yīng)用,曾一度被結(jié)構(gòu)簡單的擴散泵所代替  德國人貝克(W. Becker)1956年發(fā)明了一種適于超高真空下工作的渦輪分子泵。這種泵  和牽引分子泵相比,在結(jié)構(gòu)和原理方面并不完全相同。渦輪分子泵是以高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜  止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的,這種泵的極限壓力可以達(dá)到10-P以下,對油蒸氣等高  分子量氣體的壓縮比很高、幾乎能達(dá)到測不出的程度。因而殘余氣體中油蒸氣的分壓力很低  于軸承用的潤滑油僅在泵的出口側(cè)存在,故泵在運轉(zhuǎn)過程中人口處檢查不出油的痕跡。因此,渦輪分子泵可以獲得清潔無油的超高真空。這種泵如果長期不用,軸承處的油蒸氣會擴散  到泵的入口側(cè),降低泵所能達(dá)到的清潔程度。為了消除油蒸氣的污染,在工作時,須對泵的入口進行烘烤除氣,烘烤溫度要嚴(yán)格控制,過高會使葉片變形。有的在停泵時,用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內(nèi),以消除油蒸氣返流造成的污染
渦輪分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機械泵,動葉片的線速度很高,轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速一般為200  1200r/s。這樣的轉(zhuǎn)子會因為動平衡不好而引起振動,使軸承很快磨損,渦輪分子泵的壽命也會因此而降低,所以分子泵動平衡的好壞是發(fā)展渦輪分子泵的關(guān)鍵所在。此外,渦輪分子泵對異物進入非常敏感,通常在泵的入口處設(shè)置金屬過濾網(wǎng)
為了徹底杜絕油蒸氣對渦輪分子泵的污染和進一步提高渦輪分子泵的性能,近些年來,又出現(xiàn)利用空氣軸承和磁懸浮軸承的新型渦輪分子泵。這樣一來,渦輪分子泵作為清潔的超高真空泵就更加完善了。目前渦輪分子泵,經(jīng)過烘烤去氣可以獲得極高真空
我國在分子泵的研究和生產(chǎn)方面進展很快,在20世紀(jì)60年代
分子泵的壓縮比與抽氣槽的形狀有關(guān)。提高壓縮比很容易。在尺寸相同的情況下,牽引分子泵  的抽速比渦輪分子泵的抽速低很多。因而,利用這兩種泵各自的特點,1972年出現(xiàn)了一種高  抽速高壓縮比的渦輪牽引復(fù)合式分子泵,這種復(fù)合式分子泵利用空氣靜壓軸承和氣動馬達(dá)  可以完全做到無油。采用一種無摩擦的螺旋動密封,不用前級泵便可直接向大氣中排氣  渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)不斷改善,用途越來越廣,在某些應(yīng)用領(lǐng)域已有代替油擴散泵的趨勢。  目前磁懸浮式渦輪分子泵和寬域型復(fù)合分子泵也早已達(dá)到實用化程度,使渦輪分子泵向高  流量、高出口壓力方向發(fā)展,使分子泵不僅在極高和超高真空范圍內(nèi)應(yīng)用,還可用于高真空和  中真空范圖?，F(xiàn)在成為清潔真空的重要的獲得手段,應(yīng)用領(lǐng)域在不斷擴大。

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