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真空裝置的組成  諸多的真空裝置就組成而言,基本上包括真空容器(真空室)、真空抽氣機組、真空  測量及裝置的控制系統(tǒng)等。其目的就是保證真空裝置在真空條件下完成各種生產(chǎn)工藝  過程  1.4.1真空容器(真空室)  真空容器是各類真空裝置的重要部件之一。它的形式、種類要根據(jù)不同真空裝置的要求  來確定,絕大多數(shù)的真空裝置、真空容器為圓筒形;其次是方形(正方形、長方形),還有  球形結(jié)構(gòu)等  盡管不同的真空容器,其制造工藝不同,但構(gòu)成真空容器的部件都是相同的,即由筒  體、封頭、門、法蘭、觀察窗及連接真空抽氣機組的管道等組成。簡體的壁厚應(yīng)按內(nèi)壓容器

1.4真空袋置的組度壁厚計算公式成按內(nèi)壓容器國家標準來確定,并配備保證容器強度的加強筋及支真空容器的底座或支架
1.4.2真空泵
真空泵是真空裝置獲得直空的重要部件,它是產(chǎn)生、改善和維持直空的裝置,基本上分為氣體傳輸泵和氣體抽集泵兩種類型,前者包括容積真空泵和動量傳輸泵等,容積真空泵利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣,氣體在排氣前被壓縮,這類泵有往復(fù)式(如臥式、立式往復(fù)泵)、旋轉(zhuǎn)式(如水環(huán)泵、旋片泵、滑閥泵)兩種;動量傳輸泵利用高速旋轉(zhuǎn)的葉片或射流把動量傳輸給氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從入口傳輸?shù)匠?nbsp; 口,這類泵有:牽引分子泵、渦輪分子泵、蒸氣噴射真空泵、擴散真空泵等,氣體捕集泵是利用氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵,這類泵包括:吸附泵、吸氣劑泵、升華泵、蒸發(fā)離子泵、噴射離子泵、低溫泵、濺射離子泵等,其中濺射離子泵已有國家標準
1.4.3抽氣機組
真空抽氣機組同樣是真空裝置的重要組件之一。選擇何種真空抽氣機組要按照不同的真空裝置性能要求,經(jīng)過理論計算或參照同類真空裝置中真空抽氣機組而定
真空抽氣機組可分為:極高真空、超高真空、高真空、低真空等抽氣機組。有些真空機組,例如:羅茨真空泵機組已有行業(yè)標準(JB/T6921-2004)。該標準規(guī)定了機組的形式與基本參數(shù)、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等。然而,對于大多數(shù)的真空抽氣機組,如擴散泵高真空機組、水蒸氣噴射泵低真空機組、渦輪分子泵或低溫泵超高真空機組等都按真空裝置的要求,由企業(yè)選配(即非標準)。一般的真空裝置選擇套真空機組或兩套真空機組;但在大型的真空裝置生產(chǎn)線上,需要數(shù)套真空機組才能滿足生產(chǎn)需要
不論何類形式的真空抽氣機組,都由主抽泵、真空閥門、預(yù)抽真空泵及真空管道所組成。有的還根據(jù)需要配備除塵器(低真空系統(tǒng))、冷阱障板、儲氣罐(擴散泵、擴射噴射泵)等

真空測量包括真空計和真空規(guī)管,是真空裝置重要組成之一。真空計是測量低于  個大氣壓的氣體或蒸氣壓力的儀器。規(guī)管(規(guī)頭)是真空計的一個部件,它含有壓力  感元件并直接與真空系統(tǒng)連接。此外,真空計控制單元,包括某些種類真空計的控制  元、電源及真空計的工作需要的全部電路。這三者為一體構(gòu)成了真空裝置進行真空測  的完整組件。  真空計的種類很多,一般分類:壓差式真空計、絕對真空計、相對真空計、全壓真  計、分壓真空計等。所謂壓差式真空計是指測量同時存在于一個敏感元件、兩側(cè)面上壓力  差。絕對真空計是通過測定物理量本身來確定壓力的一種真空計。例如:壓縮式真空計  性元件真空計。相對真空計則是通過測量與壓力有關(guān)的物理量并與絕對真空計比較來確定  力的一種真空計,例如:熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計(包括:冷陰極、熱陰極、BA型  制型、抑制型電離真空計)。全壓真空計可測量混合氣體全壓力;而分壓真空計則是測量  合氣體組分壓壓力的質(zhì)譜儀式的真空計  目前,從大氣壓到10-Pa范圍內(nèi)真空度測量的理論問題和技術(shù)問題都已經(jīng)解決,  以滿足我國各類真空裝置的真空度測量問題。例如:1985年我國航天物理所用液氮冷
鈦升華即與分子沉技術(shù)在400mm×500mm真空室選用調(diào)制  獲得2.4×10-1Pa極商真空度,標志著我國極高真空裝置的技術(shù)達到國際先進的技術(shù)  水平
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