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  真空泵系統(tǒng)的極限壓力(極限真空)是該裝置真空室的主要參數(shù),山于真空裝置的種類繁  故對(duì)極限壓力的叫法亦有不同,如:真空退火爐稱極限壓力為“冷態(tài)真空度”,真空檢  國(guó)儀稱“本底真空度”,有的空間模擬設(shè)備稱“空載極限真空度”等。正因?yàn)檎婵湛萍脊ぷ?nbsp; 者及非真空企業(yè)或公司對(duì)極限壓力的含義了解得不夠全面,因而在對(duì)真空裝置研制過(guò)程中成  使用過(guò)程中帶來(lái)不少麻煩,甚至有的企業(yè)因不懂真空裝置抽氣系統(tǒng)對(duì)極限壓力的概念造成選  何謂極限壓力?從真空系統(tǒng)及有關(guān)術(shù)語(yǔ)中可知極限壓力的定義是:泵在工作時(shí),空載干  購(gòu)的真空裝置不能使用  燥的真空容器逐漸接近穩(wěn)定的最低壓力,進(jìn)而可得:真空泵 指的是真空系統(tǒng)的主泵,空載干燥的  真空容器(即真空室)內(nèi)不放有工作狀態(tài)的元器件,而且真空容器內(nèi)的環(huán)境是干燥的空氣或  氣體,它是在主泵經(jīng)過(guò)相當(dāng)時(shí)間的抽氣而使真空容器逐漸接近的穩(wěn)定的最低壓力值。顯然易  見,真空系統(tǒng)所達(dá)到的極限壓力是不受時(shí)間限制的,真空裝置的極限壓力越低,標(biāo)志著該裝  置的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是合理的,主泵的選擇比較理想,是衡量真空裝置技術(shù)水平是否先進(jìn)的條  件之一。在真空科技界,在某些情況下殘余壓力等于極根壓力。而殘余壓力則是經(jīng)過(guò)一定時(shí)  間的抽氣之后或真空過(guò)程結(jié)束后還有在于真空容器中的氣體或氣體混合物的氣壓。這是真空  科學(xué)工作者在全面理解極限壓力概念和殘余壓力時(shí)應(yīng)注意的問(wèn)題  真空室的極限壓力由下式?jīng)Q定  (3-1)式中P真空室所能達(dá)到的極限壓力,Pa;  真空泵的極限壓力,Pa;  Q?！蛰d時(shí),長(zhǎng)期抽氣后真空室的氣體負(fù)荷(包括漏氣、材料表面出氣等),Pa·L/s  S?！婵帐页闅饪诟浇玫挠行С樗?L/s  真空室的極限壓力通?？偸堑陀谡婵粘闅鈾C(jī)組的極限壓力。兩者之差取決于Q。/Sp  在抽氣口附近泵有效抽速一定的條件下,真空室的極限壓力正比于真空室的漏氣和出氣。  如果真空室采用金屬焊接結(jié)構(gòu)形成,根據(jù)我國(guó)現(xiàn)有的氨弧焊工藝水平,單位長(zhǎng)度焊縫漏  率,一般取焊縫漏率為1.3×10-Pa·L/(s·cm),此外,還應(yīng)該考慮真空室各密封圈滲漏
出氣主要指真空室材料表面的出氣量,由真空室內(nèi)表面積和不同材料在常溫下的出氣速  所引起的總漏率
設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí),漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來(lái)確定,一般選取低于  率[Pa·L/(s·cm)]來(lái)決定
狀態(tài)下氣體負(fù)荷(工藝生產(chǎn)中放出的氣體量)的十分之
表3-1給出了各種真空裝置允許的漏氣量值。