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    為了滿足以平導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的最工藝對(duì)無川  4.6多級(jí)羅  式真空  獲得設(shè)備得以開  發(fā)及廣泛應(yīng)  F式羅真空泵以其抽速大、對(duì)工作條件要  較寬松等優(yōu)點(diǎn)在干泵市場(chǎng)中占有重要的地位  而在于式羅茨泵當(dāng)中,則是以多級(jí)羅茨空  為主  美日等真空技術(shù)比較發(fā)達(dá)的  出多級(jí)羅茨泵的系列產(chǎn)品,見圖
應(yīng)用于半導(dǎo)體及化工工業(yè)  所謂“多級(jí)”是相對(duì)于傳統(tǒng)意義上的“單  級(jí)”羅茨泵而言的,即在轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)多級(jí)羅  茨型轉(zhuǎn)子(如圖了65所示為五級(jí)轉(zhuǎn)子單聯(lián)的
圖704日本ANET株式會(huì)社生產(chǎn)  多級(jí)羅茨泵  獨(dú)立的泵腔,各級(jí)泵腔之間通過上一級(jí)的進(jìn)氣  口和下一級(jí)的推氣口間的氣流通道相連接。各級(jí)轉(zhuǎn)子的直徑和形狀是相同的,而各級(jí)轉(zhuǎn)子的  度有時(shí)是不同的,向高壓側(cè)方向變窄了。為了增加壓縮比,使用圖7-65所示的氣冷式三葉轉(zhuǎn)  子.被抽氣體從第一級(jí)的進(jìn)氣口進(jìn)入泵腔,經(jīng)一級(jí)壓縮后,通過氣流通道進(jìn)入下一級(jí)泵腔中  續(xù)壓縮,氣體經(jīng)過如此逐級(jí)壓縮,最后從最后一級(jí)的排氣口排出。簡(jiǎn)言之,“多級(jí)”就是“多  級(jí)轉(zhuǎn)子”,“多級(jí)系腔”,“多級(jí)壓縮

圖765五級(jí)三葉羅茨型轉(zhuǎn)子軸
多級(jí)羅獲泵通過多級(jí)轉(zhuǎn)子的串聯(lián)實(shí)現(xiàn)多個(gè)羅茨泵串聯(lián)的效果,由于是串聯(lián),所以多級(jí)羅茨  泵并不能比單級(jí)羅茨泵擁有更大的抽速,其理論抽速是取決于第一級(jí)的理論抽速。但是,這種  結(jié)構(gòu)卻可以使羅茨泵達(dá)到很高的壓縮比,因此,多級(jí)羅茨泵是可以作為主泵直排大氣,而無需  再配置前級(jí)泵,這樣就可以避免前級(jí)泵環(huán)節(jié)給系統(tǒng)帶來的油氣污染。3~6級(jí)的羅茨泵可從大  氣壓抽到極限壓力Pa,如此高的壓力差會(huì)使轉(zhuǎn)子過熱膨脹,而產(chǎn)生卡死現(xiàn)象,所以要在高壓  段對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行氣冷,以控制轉(zhuǎn)子的溫度不超過其允許范圍。一般的氣冷方案是使從各級(jí)的排氣  口排出的氣體流經(jīng)冷卻器冷卻,再返回到該級(jí)的工作腔中,利用冷卻氣體來冷卻轉(zhuǎn)子。當(dāng)然  這種冷卻方法是要以損失羅茨泵的抽速為代價(jià)的。為了防止軸承和齒輪的潤(rùn)滑油向泵腔內(nèi)返  流,多級(jí)羅茨泵的泵腔和齒輪箱之間隔開或用迷宮式結(jié)構(gòu)加以密封,為了提高無油的程度,齒  輪箱也有另外用真空泵排氣的情況。