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     對(duì)各種真空泵的性能,都有規(guī)定的測(cè)試方法來檢驗(yàn)其性能的優(yōu)劣。真空泵的主要性能有  (1)真空泵的技術(shù)術(shù)語  極限壓力、流量及抽氣速率等。除外,對(duì)蒸氣流泵而言,還有啟動(dòng)壓力、何氏系數(shù)等名詞術(shù)  語來表達(dá)泵的有關(guān)性能和參數(shù)。  ①極限壓力( ultimate pressure of a pump)  真空與準(zhǔn)試驗(yàn)罩檢測(cè)容器相連:并按規(guī)定的條件工作,在不引人氣體正常工  作的情況下,趨向穩(wěn)定的最低壓力。盡而言之,當(dāng)真空泵進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)抽氣,當(dāng)試驗(yàn)罩內(nèi)  的氣體壓力不再下降,而維持一定值時(shí),此壓力即為泵的極限壓力,其單位為Pa  ②流量( throughput of vacuum pump)  在真空泵的吸氣口處,單位時(shí)間內(nèi)流過的氣體量稱為泵的流量。在真空技術(shù)中,流量的  單位用壓力×體積/時(shí)間來表示。即用Pa·m3/s或Pa·m3/h表示。通常泵要給出流量與  入口壓力的關(guān)系曲線。
③抽氣速率( volume flow rnte of n vacuum pump)  在真空泵的吸氣口處,單位時(shí)間內(nèi)流過的氣體的流量為泵的抽氣速率。即氣體的抽氣速  率S為流量Q(Pa·m3/s)除以測(cè)試內(nèi)氣體的分壓力p而得,一般的表達(dá)式為

1-1)
般真空泵的抽氣速率與氣體種類有關(guān),給定的抽氣速率表示對(duì)某種  抽氣速率如無特殊標(biāo)明,多指抽空氣而言  除此之外,對(duì)于蒸氣流真空泵(包括水蒸氣噴射泵、油擴(kuò)散噴射泵即油增壓泵、油擴(kuò)散

泵)  還有如下技術(shù)名稱來表達(dá)泵的有關(guān)性能和參數(shù)
①啟動(dòng)壓力( starting pressure)  真空泵無損壞啟動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓力
⑤前級(jí)壓力( backing pressure  排氣壓力低于101325Pn的直空泵的出口壓力  ④最大前級(jí)壓力( maximum backing pressure)  超過它能使泵損壞的前級(jí)壓力  ①臨界前級(jí)壓力( critical backing pressure)  菜氣噴射泵或擴(kuò)散泵、擴(kuò)散噴射泵所許可的最大前級(jí)壓力值,超過了此值就破壞泵的正  工作,蒸氣流泵的臨界前級(jí)壓力主要決定于抽氣量  ③最大工作壓力( maximum working pressure)  對(duì)應(yīng)最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下,泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞
⑨壓縮比( compression ratio  泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比
①何氏系數(shù)( Ho coefficient)  油擴(kuò)散泵入口抽氣咽喉面積的抽速與該面積按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比(我國(guó)何增  祿先生首次提出,被國(guó)際真空學(xué)者承認(rèn),故稱何氏系數(shù))。這是何增祿先生研究油擴(kuò)散泵時(shí)  總結(jié)出來的,不涉及油擴(kuò)散噴射泵的問題。何氏系數(shù)表達(dá)式為

11.6(D2-d2)
式中S——泵的抽速,L/s
D—泵口直徑,cm
d噴嘴帽下沿外徑,cm
①抽速系數(shù)( speed factor)  泵的實(shí)際抽氣速率與泵入口面積按分子瀉流計(jì)算的理論抽氣速率之比,以K表示

(4-3)
11.6
式中S—泵的抽速,L/s;  從何氏系數(shù)H與抽速系數(shù)K相比較而言,顯然H。>K,但H和K又都小于1.H  D—泵口直徑,cm
和K越大,說明泵的抽氣效率越高  ⑩返油率( back-streaming rate)  在相定條件下工作時(shí),與抽氣方向相反而通過泉入口的單位面積、單位時(shí)間的泵
質(zhì)量流率。返油率單位:g·cm-2·s  (2)真空泵的用途  根據(jù)真空泵的性能,在各種應(yīng)用真空裝置的真空系統(tǒng)中它可承擔(dān)如下一些工作  ①主泵。在真空系統(tǒng)中,用來獲得所要求的真空度的真空泵。  ②粗抽泵。從大氣壓開始,降低系統(tǒng)的壓力達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。  ③前級(jí)泵。用以使另一個(gè)泵的前級(jí)壓力維持在其最高許可的前級(jí)壓力以下的真空泵,  前級(jí)泵也可以做粗抽泵使用。  ④維持泵。在真空系統(tǒng)中,當(dāng)抽氣量很小時(shí),不能有效地利用主要前級(jí)泵,為此,在  真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級(jí)泵,維持主泵工作或維持已抽空的容器所需之低壓  的真空泵。  ⑤粗(低)真空泵。從大氣壓開始,降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵  ⑥高真空泵。在高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。  ⑦超高真空泵。在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵  ⑧增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間,用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內(nèi)的抽  氣量或降低前級(jí)泵容量要求的真空泵(如機(jī)械增壓泵和油增壓泵等)。  (3)各類真空泵使用范圍  各種形式的真空泵的工作范圍見表3-2、表3-3。