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 殘余氣體全譜的獲得  在真空技術(shù)研究中,通過(guò)對(duì)超高真空系統(tǒng)內(nèi)殘余氣體主要成分分析,可以判斷  系統(tǒng)是否漏氣、漏率數(shù)值大小、是否存在由于材料選擇不當(dāng)而造成材料出氣、主要  氣體來(lái)源等,以便正確選擇抽氣手段和工藝,提高系統(tǒng)的極限壓力  殘余氣體譜獲得的最簡(jiǎn)單方法是將質(zhì)譜計(jì)探頭安裝在真空系統(tǒng)適當(dāng)位置,當(dāng)真  空系統(tǒng)的壓力滿足質(zhì)譜計(jì)工作條件要求時(shí),利用模擬掃描模式(或棒掃描模式)在  儀器的工作質(zhì)量范圍內(nèi),選擇適當(dāng)?shù)膮?shù)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行全譜掃描,記錄系統(tǒng)殘余氣體  的全譜圖。質(zhì)譜計(jì)的工作參數(shù)可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)條件和試驗(yàn)?zāi)康膩?lái)選擇:考慮到超高  真空中常見(jiàn)的殘余氣體質(zhì)量數(shù)小于50u,因此質(zhì)量范圍可以選擇1~50u。為了檢  測(cè)系統(tǒng)中殘余氣體的微量成分,離子收集應(yīng)選擇電子倍增器模式,倍增器電壓值  應(yīng)根據(jù)試驗(yàn)情況確定。靜電放大器最好選擇為對(duì)數(shù)顯示,能夠在幾個(gè)數(shù)量級(jí)范圍  內(nèi)顯示良好譜峰。儀器的分辨本領(lǐng)應(yīng)適當(dāng)選擇,以求得到好的峰形。圖4-25所  示為5×10-8Pa超高真空系統(tǒng)殘余氣體譜,使用的質(zhì)譜計(jì)為QSM422四極質(zhì)  譜計(jì)
 譜峰質(zhì)量數(shù)標(biāo)定  在質(zhì)譜圖上確定譜峰峰位的方法有兩種。最簡(jiǎn)單的方法是計(jì)算機(jī)控制的四極質(zhì)  譜計(jì)給出的譜圖,可以在質(zhì)量數(shù)坐標(biāo)軸直接讀出對(duì)應(yīng)峰的質(zhì)量數(shù)。在圖425譜圖
中,利用n數(shù)據(jù)處理軟件,穆坐標(biāo)線對(duì)準(zhǔn)峰頂后,可自動(dòng)星示該峰的質(zhì)量數(shù)  飛于段有采用什算機(jī)陽(yáng)制的僅題,但錄僅縱軸為峰高(離子流),軸為走紙  對(duì)應(yīng)的睡的離子面強(qiáng)度  的長(zhǎng)度,當(dāng)記錄僅走紙遞度一定時(shí),可以認(rèn)為橫軸為時(shí)間軸,四級(jí)質(zhì)諧計(jì)為線性口  因此可在橫輸上,根據(jù)峰間紙的距離計(jì)算出對(duì)應(yīng)峰的質(zhì)量數(shù)  n質(zhì)計(jì)實(shí)際量中,作者如果懷疑質(zhì)量標(biāo)尺提供的質(zhì)量數(shù)不準(zhǔn),可以向直  晚內(nèi)引人已知成分的標(biāo)準(zhǔn)氣體,利用標(biāo)準(zhǔn)氣體的質(zhì)量數(shù)對(duì)標(biāo)尺進(jìn)行段準(zhǔn)  4.3氣成分判別  超高真空系筐的殘余氣體譜比較簡(jiǎn)單,通常由幾個(gè)峰組成,且譜峰的位置和強(qiáng)  度有一定的規(guī)律和特征,因此可以根據(jù)峰的質(zhì)量數(shù),直接判定該峰對(duì)應(yīng)的氣體種  類,為了對(duì)真空系統(tǒng)的組分作較詳細(xì)的分析,可以利用真空系統(tǒng)的離子諧判別數(shù)  據(jù)進(jìn)行氣體成分判別.下面幾條規(guī)律可以幫助操作者判別超高真空系統(tǒng)殘余氣
①?zèng)]有碳?xì)浠衔?油蒸氣)污染的真空系統(tǒng)殘余氣體成分的質(zhì)量數(shù)一般低  體謂
于44在無(wú)油的真空系統(tǒng)中,惰性氣體為主要成分,如質(zhì)譜峰為2(H2)、40(Ar)和44(CO2)  ②未經(jīng)烘烤或烘烤不徹底的真空系統(tǒng),水為系統(tǒng)的主要成分,質(zhì)諧峰的質(zhì)

數(shù)  為18、17和1  ③有漏氣的真空系統(tǒng),可以看到明顯的氧峰,質(zhì)量數(shù)為32  ④存在碳?xì)浠衔?油蒸氣)污染的真空系統(tǒng),會(huì)成組出現(xiàn)碳?xì)浠衔?nbsp; 峰,而且有明顯的特征峰,如質(zhì)量數(shù)39、41、43一組峰和55、57一組峰  ⑤在無(wú)油的超高系統(tǒng)中,質(zhì)量數(shù)為16的甲烷成分出現(xiàn)的原因是由于碳、氫在質(zhì)譜計(jì)熱燈絲的表面作用下形成的  ⑥真空系統(tǒng)清洗劑殘留物如酒精的基準(zhǔn)峰為質(zhì)量數(shù)31,丙酮基礎(chǔ)峰為質(zhì)量

根據(jù)上述的幾條判別規(guī)律可以利用圖425的質(zhì)譜圖對(duì)超高真空系統(tǒng)的殘余氣體進(jìn)行如下分析。
①質(zhì)量數(shù)M=2u的峰為氫峰,該系統(tǒng)中氫占主要成分。
②質(zhì)量數(shù)M=28u峰,可能為N2或CO,根據(jù)N2、CO各自的圖形系數(shù),在M=14u峰位處沒(méi)有M=14u峰而在M=12u峰位處有C峰,因此可以判斷為CO成分
③在M=44u峰位上的峰可以判定為CO2成分。
④M=18u、17u峰位出現(xiàn)的峰是典型的H2O的成分
⑤M=32u峰位處的峰可能的氣體為O2、HS或SO2,根據(jù)離子譜在M=34u  沒(méi)有峰判定,M=32u峰為O2成分
⑥根據(jù)質(zhì)量數(shù)16峰較大,系統(tǒng)中可能有CH4、O存在或CO、CO2的碎片  根據(jù)M=15u峰位處沒(méi)有峰,

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