正宇真空設(shè)備
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給出了羅茨轉(zhuǎn)子加爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵和全為爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵的性能曲線。二者抽速最大值對(duì)應(yīng)的入口壓力值不同。二者的極限壓力相差不大,均在1Pa以下。羅茨加爪式轉(zhuǎn)子組成的四級(jí)泵,其抽氣性能較好,由圖
7-77可以看出:在人口壓力為1~100Pa之間和103~105Pa之間,羅茨加爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵抽 氣性能優(yōu)于全爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵。只當(dāng)入口壓力為102~103Pa之間,全爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵的 抽氣性能較好 般的無(wú)油干式泵和油封機(jī)械泵相比,其壓縮比較小,要克服高的壓力差,向大氣直接排 氣,還要抽除大量的顆粒物,因此選擇有效的抽氣機(jī)構(gòu)是非常重要的。爪式泵有高的容積效率 和內(nèi)壓縮,轉(zhuǎn)子可高速無(wú)接觸的運(yùn)轉(zhuǎn),是實(shí)現(xiàn)干式抽氣較好的抽氣機(jī)構(gòu),但它也需要多級(jí)串聯(lián) 方能達(dá)到所需的極限壓力 爪式轉(zhuǎn)子除能壓縮氣體之外,還有轉(zhuǎn)子自行開閉的閥門作用,即可周期地開閉泵腔的入口 和出口。由于有內(nèi)壓縮和這種閥門作用,可實(shí)現(xiàn)高的壓縮比和高的容積效率。在功率消耗低的 情況下有較高的抽速。被抽氣體的種類對(duì)壓縮比的影響較小。轉(zhuǎn)子與泵體之間的間隙較大,小 顆粒物很容易被抽除。這種抽氣原理的干式泵,目前我國(guó)已有多家生產(chǎn) 圖7-78所示為全爪式轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵的結(jié)構(gòu)示意圖。 該泵的主軸為垂直安裝,氣流可從頂部向底部流動(dòng),這樣的布置有利于顆粒物及液體的排 放。泵內(nèi)各級(jí)的壓力分布如圖779所示。第一級(jí)的壓力比為3,第二級(jí)的壓力比為5,第三級(jí) 的壓力比為10,第四級(jí)的壓力比為7。各級(jí)泵腔的抽氣容積除第一級(jí)較大外,其他各級(jí)均相 等。由于抽氣過(guò)程在各級(jí)間隙的返流所處的流動(dòng)狀態(tài)的不同,其各級(jí)反流情況也不盡相同,各 級(jí)所能達(dá)到的壓縮比也不相同。
南國(guó)浪子:
合級(jí)壓 在中間各級(jí)的排氣口出現(xiàn)沉積物時(shí),在這些部位上使用可拆的管道,用快速接頭連接,不 必拆開整臺(tái)泵就能對(duì)泵清洗。軸承和密封處用水冷卻,中間部分用空氣冷卻。這樣可使轉(zhuǎn)子和 泵體的溫差小。與被抽介質(zhì)接觸的表面耐腐蝕。轉(zhuǎn)子由馬達(dá)和齒輪轉(zhuǎn)動(dòng),軸承和齒輪處有潤(rùn)
滑。選用一種特殊的活塞環(huán)密封裝置,以防潤(rùn)滑油蒸氣向泵腔內(nèi)泄漏。該泵四級(jí)為層狀結(jié)構(gòu), 檢修方便,定位精度高。 為了安全運(yùn)行,泵入口處設(shè)有過(guò)濾網(wǎng),灰塵收集器及消聲器。 整個(gè)泵可裝在一個(gè)罩內(nèi),對(duì)其進(jìn)行吸氣,以防被抽氣體的外泄。這種泵裝有4個(gè)小滾輪, 移動(dòng)方便.
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