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    擴(kuò)散泵的加熱功率對(duì)泵的極限壓強(qiáng)、抽氣速率、前級(jí)耐壓和抽氣量等性能參數(shù)  影響較大。圖2-17給出了這些影響數(shù)據(jù)曲線  般說(shuō)來(lái),油溫、前級(jí)極限壓力、抽氣量都隨著加熱功率的增加而增加,但過(guò)  高的加熱功率反而使抽速降低,這是因?yàn)檫^(guò)高的蒸氣分子密度降低了入射氣體分子  的擴(kuò)散系數(shù)和蒸氣流邊層湍流效應(yīng)的增加以及油的熱裂解等原因造成的。從圖中給  出的抽氣速率曲線,還可以看出對(duì)不同氣體抽速的最佳加熱功率是不相同的,質(zhì)量  輕的氣體的最佳加熱功率大于質(zhì)量重的氣體。極限壓力有一個(gè)最佳加熱功率值,加  熱功率不足時(shí)氣體的反擴(kuò)散增加,過(guò)高時(shí)則使油的熱分解加重,影響擴(kuò)散泵的極限  真空。而且不同結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散泵采用不同牌號(hào)的泵油時(shí),都有不完全相同的最佳加熱  功率,需要通過(guò)實(shí)驗(yàn)給出  擴(kuò)散泵的抽氣量與加熱功率成正比,設(shè)計(jì)良好的擴(kuò)散泵熱效率可以達(dá)到每千瓦  加熱功率得到大約150Pa·L/s的抽氣量。圖中給出的功率與前級(jí)極限壓力和抽氣  量的關(guān)系曲線是一條單調(diào)上升的直線,其斜率則表示不同結(jié)構(gòu)泵種的熱效率。  超高真空油擴(kuò)散泵的最佳加熱功率,很難調(diào)整到擴(kuò)散泵性能的各項(xiàng)指標(biāo)都處于  最佳值。要根據(jù)實(shí)際需要,統(tǒng)籌兼顧,通常是以泵的極限壓力、抽速為主要指標(biāo),  兼顧返油率、極限前級(jí)壓力、抽氣量、熱效率等指標(biāo)。