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A油的返流  在旋片泵工作時(shí),油蒸氣會(huì)逆著氣流運(yùn)動(dòng)  方向進(jìn)入泵入口,通過(guò)入口管路最終進(jìn)入被抽  容器。油蒸氣的返流量隨壓力的降低而增加,在極限壓力附近時(shí),返流量最大(見(jiàn)圖731)返流油蒸氣主要由泵油中最輕的餾分組成。
油的返流會(huì)污染真空室,影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量,必須加以控制。防止油返流的措施主要有
(1)在泵入口管道上設(shè)置放氣閥,使入口  壓力維持在10Pa或更高,這樣可以減小返流  98%
(2)對(duì)于單級(jí)泵,在泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥就能很好地防止油的返流。  (3)在泵入口設(shè)置吸附阱,依靠吸附劑吸附返流蒸氣。粒狀活性氧化鋁可以吸附99%的  返流油蒸氣。這種吸附阱需定期更換吸附劑,以防吸附材料吸氣能力達(dá)到飽和而失效。  (4)使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很小,但由于價(jià)格較貴,因此影響到它的廣泛使用  B泵的啟動(dòng)與停止  通常旋片泵由三相交流電機(jī)驅(qū)動(dòng)特別注意電源線的連接,以保證旋轉(zhuǎn)方向的正確,否則  泵油將被排到真空室。因此泵應(yīng)設(shè)置反向制動(dòng)以防止泵的反轉(zhuǎn)。當(dāng)電源線接錯(cuò)時(shí),泵不能啟  動(dòng)。為防止電機(jī)燒壞,還應(yīng)設(shè)置過(guò)載開(kāi)關(guān),通常為溫控開(kāi)關(guān)。  停泵時(shí),出口空氣的壓力將使泵反轉(zhuǎn),會(huì)使泵油返到真空室中,空氣也會(huì)進(jìn)入真空室破壞  真空。因此需要特殊的閥門(mén)把泵和真空室隔開(kāi),以防止空氣和泵油進(jìn)入真空室。圖7-32的保  護(hù)閥置于泵入口管道中,其作用為:當(dāng)泵斷電或控制開(kāi)關(guān)斷開(kāi)時(shí),關(guān)閉泵與真空室之間的管  道,并且向泵入口放氣。這種保護(hù)閥通常為電磁放氣閥。它與電機(jī)電源連在一起,控制空氣的  進(jìn)人。電機(jī)斷電時(shí),電磁閥打開(kāi),靠大氣與泵入口的壓差關(guān)閉泵與真空室之間的通道,然后大  氣進(jìn)人泵入口。泵啟動(dòng)時(shí),電磁閥關(guān)閉,泵對(duì)保護(hù)閥抽空,閥板靠彈簧壓力打開(kāi)。在一般的旋  片泵中,常常在泵入口內(nèi)設(shè)置有空氣隔離閥,起到上述保護(hù)閥的作用,這時(shí)在入口管路上就無(wú)  需設(shè)置電磁放氣閥了。  C泵油的過(guò)濾和更換  為防止泵油中的粉塵、顆粒物質(zhì)隨泵油一起進(jìn)入泵腔,在泵運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中應(yīng)設(shè)有連續(xù)過(guò)濾  裝置。圖7-33是油過(guò)濾器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。過(guò)濾器與泵之間由同軸套管連接。當(dāng)泵轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),泵油  靠大氣與泵腔內(nèi)的壓差或由獨(dú)立的油泵經(jīng)外管進(jìn)入過(guò)濾器,過(guò)濾后的油經(jīng)內(nèi)管進(jìn)入泵的循環(huán)  油路中。過(guò)濾器內(nèi)的過(guò)濾芯在油經(jīng)過(guò)時(shí)擋住了機(jī)械污染物,凈化了泵油。過(guò)濾器上常常聯(lián)上  壓力表以顯示過(guò)濾器是否堵塞。當(dāng)壓力增加,油不能正常流動(dòng)時(shí),即為過(guò)濾器堵塞,應(yīng)更換

清洗過(guò)濾芯。  現(xiàn)代旋片泵很少需要經(jīng)常維護(hù),主要注意油量、油的顏色和狀態(tài)。一般每周檢查一次油  量。泵在高的入口壓力或在氣鎮(zhèn)條件下工作時(shí),每天都要檢查油量,因?yàn)樵诖藯l件下工作,泵  油的損失是比較嚴(yán)重的  換油的時(shí)間間隔依工作條件而定。一般因油潤(rùn)滑不良、油分解或污染物太多使泵極限壓力  上升時(shí),就需要更換油了  D油霧的產(chǎn)生及分離  在旋片泵排氣過(guò)程中,懸浮在被抽氣體中的油滴隨氣體一起被排出。因此,常在泵出口看  到“油霧”同時(shí)也有少量的油蒸氣被排出。隨著環(huán)保要求的提高,新型旋片泵一般在出口設(shè)  置油氣分離裝置  在被排出氣體中的油滴直徑大約0.01~0.8m,這樣小的液滴不能用一般的編織網(wǎng)過(guò)濾,  而是采用特殊纖維制成過(guò)濾裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)油氣分離,其中要有足夠小的微孔吸收油霧。分離器的  結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖7-34。過(guò)濾元件置于圓筒油霧分離器之中,被排出氣體由泵出口進(jìn)入分離器,經(jīng)過(guò)過(guò)  濾元件的氣體到達(dá)過(guò)濾器出口時(shí),已經(jīng)得到凈化。油在分離器中被收集,收集的油量可由觀察  窗看到。當(dāng)過(guò)濾元件被堵時(shí),壓力將增加。當(dāng)壓力達(dá)到1.5×105Pa時(shí),分離器的安全閥打開(kāi),  此時(shí)必須清洗或更換過(guò)濾元件  E除塵裝置  在有些真空工藝中會(huì)產(chǎn)生大量的灰塵,這些灰塵將隨被抽氣體一起進(jìn)入旋片泵?;覊m混在  泵油中,像研磨劑一樣會(huì)對(duì)泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和破壞。在灰塵量較少時(shí),可以由油過(guò)濾系  濾除,但灰塵量較大時(shí),為防止泵損壞,保證泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)必須使用除塵器

分離器,大顆?;覊m在此被分離并沉積于外筒室底部。較小的顆粒隨被抽氣體進(jìn)入油浸過(guò)濾  器。經(jīng)過(guò)充分除塵的氣體由出口4或5進(jìn)入真空泵。

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