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維修資訊 -> 渦輪分子泵操作時蓋注意什么事項?
渦輪分子泵的主要優(yōu)點(diǎn)是能獲得具有較為清潔的真空以及對被抽氣體化學(xué)特性 不敏感。但抽速還不能做得很大。從應(yīng)用方面來看,分子泵安裝、運(yùn)轉(zhuǎn)時要注意以 下幾點(diǎn)。 ①立式和臥式兩種分子泵都不能承受穩(wěn)定的或瞬時的扭矩,進(jìn)口法蘭不能承 受重的真空容器載荷或懸臂載荷,與系統(tǒng)法蘭連接時要特別小心時,不能使分子泵 受到大的沖擊,否則會損傷轉(zhuǎn)子及軸承。最好是將渦輪分子泵懸吊在容器法蘭上, 而不能像擴(kuò)散泵那樣用進(jìn)口法蘭作為系統(tǒng)安裝平臺。 ②渦輪分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的精密機(jī)械,十分脆弱,不能突然暴露大氣 次誤操作可能損傷葉片甚至使整個分子泵報廢。雖然生 特別是立式渦輪分子泵 產(chǎn)廠家盡量增加葉片的剛度和強(qiáng)度,設(shè)置一些自動保護(hù)裝置,系統(tǒng)漏入大氣、前級 壓力過高、電機(jī)定子或軸承過熱、電機(jī)電流過載等情況下,都能自動切斷電源 保護(hù)裝置失靈,仍會造成事故。 ③渦輪分子泵軸承潤滑油和前級泵油的污染,在某些應(yīng)用領(lǐng)域仍是急需解決 的問題。軸承潤滑多使用增壓泵油、儀表油。正常運(yùn)轉(zhuǎn)時,分子泵對油的壓縮比 大,污染較小,但停泵靜置期間,油蒸氣分子會擴(kuò)散到被抽系統(tǒng),在飽和蒸氣壓 10-3Pa條件下,系統(tǒng)內(nèi)表面布滿一個單分子只需要幾秒鐘。一旦系統(tǒng)被污染,要 恢復(fù)原先的真空度,往往需要100~200℃烘烤后,連續(xù)工作幾天才能慢慢恢復(fù)到 原來的水平。 ④軸承壽命問題。磁懸浮軸承是最有希望的理想軸承,可徹底解決軸承壽命 和油污染的問題。