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將氣體分子解離成離子,并在電場中加速,以一定的能量打在吸氣材料上用以  抽除氣體分子的泵稱為離子泵。普通的熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)都有抽氣作  用,1937年潘寧( Penning)首先觀察到受磁場約束的直流放電具有更為明顯的抽  氣作用,由于這種抽氣效應很小,沒有引起人們的注意,直到1958年霍爾(Hl)  把幾個陽極小筒并聯(lián)起來,做成第一臺有商業(yè)價值的濺射離子泵  濺射離子泵屬于清潔超高真空泵,沒有任何油蒸氣污染。但是,它不能在大氣  壓下啟動,必需配置預抽泵將真空系統(tǒng)內(nèi)部壓力降低到10-1Pa的啟動壓力以下。  使用常規(guī)的油封前級泵或粗抽泵,仍會造成污染,對潔靜度要求高的真空系統(tǒng),只  有使用無油機械泵或分子篩吸附泵,才能實現(xiàn)完全無油的清潔超高真空  濺射離子泵抽除的氣體,并不排除到大氣中,而是被吸附在泵內(nèi)。除需要抽出  容器內(nèi)的大氣外,離子泵啟動后正常工作時不需要前級泵。沒有振動和噪聲,清潔  無油,不需要冷卻,超高真空下的使用壽命長、操作簡便、安全可靠。特別適用于  電真空器件的排氣以及其他清潔無油的超高真空系統(tǒng)中作為主抽氣泵。缺點是磁鐵  體積大、笨重、成本高,價格較高,由于鈦的飽和吸附容量的限制,抽氣量小,不  適合較高壓力下(例如10-2Pa以上)長期工作。此外,更換鈦板困難,應用受到  定局限。

真空泵維修，真空泵油