正宇真空設(shè)備
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將真空系統(tǒng)的壓力降低到一定壓力(例如降到基礎(chǔ)壓力)所需要的時(shí)間,稱之為抽氣時(shí) 間。抽氣時(shí)間在真空裝置的真空系統(tǒng)中由于它直接關(guān)聯(lián)到極限壓力、工作壓力性能的好壞問 題,因此,不論是任何真空裝置在設(shè)計(jì)、研制的過程中,都把抽氣時(shí)問作為裝置的主要性能 指標(biāo)提出來,以此作為驗(yàn)收真空裝置主要技術(shù)性能之一。 真空系統(tǒng)的抽氣時(shí)間計(jì)算包括粗、低抽氣時(shí)間和高真空抽氣時(shí)間的計(jì)算兩部分。 (1)粗真空、低真空下抽氣時(shí)間計(jì)算 在粗真空、低真空下,真空設(shè)備本身內(nèi)表面的出氣量與設(shè)P
管道 備總的氣體負(fù)荷相比,可以忽略不計(jì)。因而,在粗真空、低真
真空室 空情況下計(jì)算抽氣時(shí)間時(shí)一般不需要考慮出氣的影響。
圖35真空系統(tǒng)原理圖 簡(jiǎn)單的抽氣系統(tǒng)原理圖如圖3-5所示。它由真空室、管道 和真空泵三部分組成。S為泵的有效抽速;Sp為泵的名義抽 速;p為真空室某一時(shí)刻的壓力;p為真空室的極限壓力;U為管道流導(dǎo)。 ①泵的抽速近似常量時(shí)的抽氣時(shí)間計(jì)算 a,若漏氣量很小以至可以忽略時(shí),真空設(shè)備從壓力p降到p所需要的抽氣時(shí)間t如下。 當(dāng)流導(dǎo)很大(U>Sp)時(shí),則S≈Sp,此時(shí)
s.+,則
Q很大以至不忽略時(shí) 的極限壓力P備從壓力戶降到P所需要的抽氣時(shí)間如下 當(dāng)流導(dǎo)很大(U>S,)時(shí),則S≈S·此時(shí)
則
抽氣時(shí)間
泵的名義抽速,L/s 一泵的有效抽速,1,/s,
設(shè)備開始抽氣時(shí)壓力
白極限壓力
管道的流導(dǎo),L
Q—空載時(shí),長期抽氣后真空室的氣體負(fù)荷(由漏氣、材科表面出氣形成的)
計(jì)算) c.抽速S近似于常數(shù),管道U是變量時(shí)的抽氣時(shí)間計(jì)算(適合于黏滯流時(shí)的粗略先把真空設(shè)備工作壓力范圍劃分為幾個(gè)區(qū)域,按每個(gè)區(qū)的平均壓力計(jì)算流導(dǎo),再按下式 計(jì)算抽氣時(shí)間
泵的名義抽速
〔空設(shè)備容積
開始抽氣時(shí)的壓力,P Pn)一經(jīng)時(shí)間的抽氣時(shí)的壓力,Pa U1-p1與P2壓力區(qū)域間的計(jì)算流導(dǎo),U2為p2與P3壓力區(qū)域的計(jì)算流導(dǎo) 其余類推,L/s
一所分的壓力區(qū)域各點(diǎn)壓力,P 利用圖36給出的一族曲線,可以計(jì)算黏滯流狀態(tài)下的抽氣時(shí)間。圖36的橫坐標(biāo)表示 將容積1L的容器由大氣壓下降到10Pn時(shí)所需的進(jìn)間,縱坐標(biāo)表示泵的抽速 例如,機(jī)械泵的袖速為2L/s.管道直徑為3cm,長250cm,真空設(shè)備的容積為50L 計(jì)算設(shè)備從10Pa降到10Pa時(shí)所需要的抽氣時(shí)間
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