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各類真空裝置的真空室均設有門。其目的
是便于室內(nèi)安裝各種機構;二是用于取送  物料及材料。門通常由密封法蘭、門板、門鉸鏈、密封圈預緊機構等組成。門板有凸形的和  平板形的兩種形式,視真空室殼體結(jié)構而定。門有圓形和矩形兩種。圓形門易加工,是設計  真空室時常用形式。矩形門加工密封槽不方便,但有些真空室設計亦常用。如醫(yī)藥及生物制  品用的真空冷凍干燥機、生物試驗艙、電子束沉積設備、箱式雙開門多層電子束鍍膜機、平  面磁控濺射鍍膜設備,大型電子束真空焊機等。矩形門的門板是平板式的,為減少厚度多采  用加強筋結(jié)構。圓形門板常用標準凸形封頭。門上的法蘭為防止變形影響密封性能,常采用  焊后經(jīng)真空檢漏合格后精加工密封面及密封槽。門的密封槽一般都開在筒體法蘭上,圖2  給出了門開啟方式示意圖。
門的強度按封頭公式計算。  門的開啟可以用手動或機動。門上有夾緊機構。夾緊機構的類型有絲杠螺母機構、偏心  夾緊機構、楔形機構等。圖2-2給出了一種絲杠螺母機構簡圖。夾緊機構給密封圈一定的
“預緊力”的壓力為0.5~0.8MPa。如果真空室是鐘罩式的(如各種鍍膜  16
機),就不需要有夾緊裝置,鐘罩本身的重量就可以使密封圈得到足夠的預壓力。抽氣后大  大的門由于受大氣壓力的作用很大,容易損壞密封圈。例如直徑為2m的圓形門,  氣壓作用在密封圈上,密封就更可靠了  其上的作用力約為3×105N。因此在設計密封槽時,要注意不使密封圈承擔過大的力  密封槽的截面積要大于密封圈的截面積,且能允許密封圈變形30%(密封圈截面高度  矩形門的結(jié)構形式多種多樣。門板有平板形式,為防止門板受壓變形,常有加強筋。  壓縮30  門的鉸鏈有旋轉(zhuǎn)式、平移式。門上的夾緊機構有絲杠螺母夾緊機構,也有偏心輪夾緊機  構,圖23給出了ED1610大型真空電子束焊機所配置的矩形平板式大門結(jié)構示意  的可平移的啟動機構。啟動機構上方有兩個滑輪可在門導軌上滑動;啟動機構的左右側(cè)  面有兩組滑輪與導軌左右側(cè)面緊貼著,以防止門在平移時擺動;門板厚度為30mm;在它  的外面焊有高度為100mm、寬度為20~30mm的井字型加強筋,確保門在受工作壓力時  不變形。門的正上方設計有直徑為p600mm的多層玻璃觀察窗??晒┖笝C對工件焊接時  觀察工件焊接使用。門的左右兩邊裝有拉桿組件。拉桿的上下裝有偏心輪;當門開啟時  扭動拉桿90°使偏心輪將門與真空室門框密封面脫開;使門很輕松地左右移動;反之,當  門關閉時,再將拉桿扭動90°,使偏心輪脫離原位后,將門與真空室密封面緊貼。焊機抽  真空時,門與真空室之間靠大氣的壓力壓緊。實踐證明,在諸多的平移式門中,該門結(jié)  構是可靠的,結(jié)構是合理的
除門以外,真空室還焊有一些法蘭盤或管道,通過它們與抽氣系統(tǒng)相接,或者把各種傳  動引入真空室中,或者引入電極等。

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