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     獲得極高真空的運(yùn)轉(zhuǎn)經(jīng)驗(yàn),該系統(tǒng)的主要運(yùn)轉(zhuǎn)規(guī)范作如下描述  ①系統(tǒng)預(yù)處理系晚正式運(yùn)轉(zhuǎn)前,最好進(jìn)行一段時(shí)的真空“浸泡”系統(tǒng)長(zhǎng)期暴國(guó)大氣  后,需先充入干燥氮?dú)膺M(jìn)行置換沖洗,以減小水蒸氣對(duì)系統(tǒng)的污染  ②抽空和加熱烘烤同時(shí)啟動(dòng)“夾層”、“隧道”、“主容器”三路真空系統(tǒng)的機(jī)械泵:啟  動(dòng)氟里品致冷機(jī)并通冷卻水,待各路真空系統(tǒng)達(dá)到一定真空度并且氟里昂機(jī)正常運(yùn)行(氟里  冷凍障板進(jìn)出口結(jié)霜)后,開啟各路系統(tǒng)擴(kuò)散泵,通冷卻水;各路真空系統(tǒng)進(jìn)入高真空  開始烘  冷研為保護(hù)外殼端部法蘭及大冷群法蘭密封圈(氟橡膠制),加熱烘烤時(shí)必須通冷卻水
③保溫系統(tǒng)烘烤和保溫是為了加速材料表面放氣過程,一般來(lái)說,烘烤溫度愈  保溫時(shí)間愈長(zhǎng),出氣愈會(huì)徹底,但根據(jù)實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn),烘烤溫度不宜過高,一般可控制在250℃左右。烘烤時(shí)間盡量長(zhǎng)一些,便于各部分溫度均勻。也可以預(yù)先充入少量氮?dú)?在氣氛中烘烤,其效果更好,采用的烘烤規(guī)范是:在250℃下保溫48h。在整個(gè)烘烤過程中,用BA規(guī)監(jiān)視主容器真空度,到保溫結(jié)束時(shí),系統(tǒng)真空室一般可進(jìn)入10-6Pa量級(jí),從而能達(dá)到均勻烘烤和徹底去氣的目的
④升華泵(鈦鉬絲)去氣在極高室外圍和內(nèi)部裝設(shè)兩個(gè)鈦升華泵,其蒸發(fā)源為國(guó)產(chǎn)  鈦鋁合金絲(85%的鈦,15%的)曾對(duì)其蒸發(fā)參數(shù)和吸氣性能作過詳細(xì)的試驗(yàn)研究。試  驗(yàn)表明,該材料吸氣性能與它本身去氣歷史關(guān)系極大,在超高真空和極高真空范圍內(nèi)尤其如  此。對(duì)于新絲,要求在真空退火爐中進(jìn)行真空除氣。其規(guī)范是:真空度為10-3-10-4Pa,  溫度為700~800℃,保溫時(shí)間為1~2h。或者在系統(tǒng)烘烤過程中原位去氣蒸發(fā)2~3次亦可  達(dá)到此目的。鈦鉬絲去氣過程是在熱狀態(tài)、高真空環(huán)境下進(jìn)行的。大小鈦泵的去氣功率分別  為1.2kW和0.4kW,去氣次數(shù)為3~4次,每次去氣時(shí)間為10min左右,在去氣過程中  由BA規(guī)監(jiān)視其去氣效果,以系統(tǒng)動(dòng)態(tài)壓力無(wú)明顯變化為滿意  ⑤測(cè)量規(guī)管去氣系統(tǒng)經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間高溫烘烤去氣,再經(jīng)過自然冷卻后,其表面放氣率會(huì)  大大降低。當(dāng)極高真空室冷卻到液氮溫度時(shí),其放氣率更低。此時(shí),與測(cè)量規(guī)管在工作狀態(tài)  下的總放氣量相比,該項(xiàng)是可以忽略的。因此,規(guī)管各電極表面能否徹底去氣將直接影響最  終獲得水平。為使規(guī)管去氣徹底而有效,并考
行電子轟擊去氣,去氣電流約100mA,去氣次數(shù)為3~5次,每次去氣時(shí)間為10min,在彎  往規(guī)去氣過程中,用BA規(guī)進(jìn)行真空度變化監(jiān)圖  ①蒸鈦蒸鈦對(duì)極高直空獲得具有至關(guān)重要的作用,蒸鈦有兩種方式,一是冷態(tài)(器壁  處于液氮溫度)蒸鈦:二是熱態(tài)(器壁處于較高溫度)蒸鈦。根據(jù)經(jīng)驗(yàn),熱態(tài)蒸鈦效果更好,  在超高真空或極高真空下,由于氣體分子非常稀少,故適量蒸著的鈦膜將在足夠的時(shí)間  內(nèi)m持其吸氣性能。采取高溫、超高真空(10-6-10-Pa)下間斷蒸鈦方式。大小鈦泵的  蒸發(fā)功率分別為1.4kW和0.6kW,蒸發(fā)次數(shù)為3~4次,每次蒸發(fā)約10min  ①冷卻內(nèi)殼當(dāng)內(nèi)殼溫度接近室溫后,通過液氫盤管向內(nèi)殼注入液氮。隨著內(nèi)殼溫度  的降低,由于殼體內(nèi)壁上蒸著鈦膜所形成的冷凍鈦升華阱作用,系統(tǒng)真空度將得到進(jìn)一步提  高,當(dāng)內(nèi)殼壁面徹底冷卻后,系統(tǒng)真空度可穩(wěn)定地達(dá)到10Pa  冬值得注意的是,由于內(nèi)殼在冷卻過程中的溫度變化,將對(duì)端部法蘭圈(氟橡膠制)密封產(chǎn)  響(螺栓松動(dòng),密封失效)為此,須在內(nèi)殼冷卻初期重新將密封法蘭上的所有螺栓擰緊  ③冷卻極高真空室極高真空室內(nèi)的最終冷卻(通過液氮),將對(duì)系統(tǒng)極限壓力產(chǎn)生直  影響,當(dāng)極高室儲(chǔ)槽內(nèi)通入液氮后,由于表面上蒸著鈦膜的巨大吸氣作用,系統(tǒng)真空度將  隨著壁面溫度的不斷降低而逐步和穩(wěn)定地提高,最后可達(dá)中等10-1Pa的水平  ⑨液氮減壓極高真空室儲(chǔ)槽內(nèi)液氮的減壓,是為了進(jìn)一步降低液氮的溫度,提高壁  表面上鈦膜對(duì)氣體的粘著效果。試驗(yàn)證明,這是一項(xiàng)十分有力的措施,最終能使系統(tǒng)極限真空度達(dá)到良好的10-11P  0極高真空度的測(cè)量在極高真空室端部法蘭上安裝了兩個(gè)測(cè)量裸規(guī):一個(gè)是調(diào)制B  A規(guī),其商用規(guī)頭型號(hào)為IMR103,靈敏度常數(shù)為0.188Pa-1;配用巴爾蔡司公司生產(chǎn)的  G040型全自動(dòng)數(shù)字顯示超高真空電離真空計(jì)。另一個(gè)是510所研制的陶瓷蕊柱結(jié)構(gòu)的棵  彎注規(guī),其靈敏度常數(shù)約為0.105Pa-1,離子流測(cè)量采用日本進(jìn)口的TR84型振簧式靜電  計(jì),兩規(guī)靈敏度常數(shù)皆由“科工委真空計(jì)量一級(jí)站”校驗(yàn)過  .極高真空規(guī)的燈絲如果選用鎢絲,由于燈絲的工作溫度高達(dá)200K0以  燈絲工作時(shí)的蒸氣壓達(dá)10-10Pa,不能用于測(cè)量更低的壓力。需要改為敷氧化釷的鎢燈絲以降低燈絲工作溫度以及蒸氣壓。實(shí)驗(yàn)結(jié)果見表3-13  b.本實(shí)驗(yàn)需要測(cè)量的離子流大
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