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  小型擴(kuò)股互高直空抽氣機(jī)組通常配置有儲(chǔ)氣罐,設(shè)置在擴(kuò)散泵和前級(jí)泵之間,儲(chǔ)存擴(kuò)夏排出的氣休,設(shè)置儲(chǔ)氣罐的原因如下  ①由于需要防震而設(shè)置儲(chǔ)氣罐,真空系統(tǒng)工作時(shí),某些工藝過程要求嚴(yán)格防震,因此  需要機(jī)械泵在一段時(shí)間內(nèi)停止工作,在這段時(shí)間內(nèi),擴(kuò)散泵排出的氣體全都儲(chǔ)存在儲(chǔ)氣  中,儲(chǔ)氣代替機(jī)械泵維持?jǐn)U散泵正常工作  這種用途的儲(chǔ)氣罐的體積V為
(3-28)式中Q—在機(jī)械泵停止工作的時(shí)間內(nèi)擴(kuò)散泵的排氣量,PaL/s
—機(jī)械泵停止工作的時(shí)間,也就是要求儲(chǔ)氣罐工作的時(shí)間,s
擴(kuò)散泵臨界前級(jí)壓力,或經(jīng)過時(shí)間t后,儲(chǔ)氣罐中所允許的最高壓力,Pa
p—機(jī)L械泵工作時(shí)擴(kuò)散泵的前級(jí)壓力,或t=0時(shí),儲(chǔ)氣罐內(nèi)壓力,Pa  例如某工藝生產(chǎn)過程中,機(jī)組的排氣量為10-1Pa·L/s,要求機(jī)械泵中間停止工作1h  需要前級(jí)儲(chǔ)氣罐的體積多大?擴(kuò)散泵前級(jí)耐壓取10Pa,正常工作時(shí)前級(jí)壓力為7×10-Pa  將Q=10-12·L/s,t=3600,p1=10Pa,p=7×10-1Pa代入公式(328)得

38.7(L)  10-7×10
②為了縮短工作周期而設(shè)置儲(chǔ)氣罐。有些生產(chǎn)工藝要求在不關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器的情況  下,真空室放進(jìn)大氣換取元件、裝料。裝料后用機(jī)械泵預(yù)抽真空室,這段時(shí)間內(nèi)利用儲(chǔ)氣罐來維持?jǐn)U散泵工作。  ③為防止真空室內(nèi)瞬時(shí)大量放氣影響擴(kuò)散泵正常工作而設(shè)置儲(chǔ)氣罐。工藝生產(chǎn)中某  段時(shí)間內(nèi)放氣量特別大,但時(shí)間短,若按此時(shí)的最大排氣量配機(jī)械泵很不經(jīng)濟(jì),這樣可  配置前級(jí)儲(chǔ)氣罐,在最大放氣量時(shí)儲(chǔ)存一部分氣體,以避免擴(kuò)散泵前級(jí)壓力超過臨界前級(jí)壓力。  前級(jí)儲(chǔ)氣罐體積計(jì)算同式(328)。但設(shè)計(jì)這類前級(jí)罐時(shí),應(yīng)滿足下面關(guān)系式

(3-2式中U—儲(chǔ)氣罐到擴(kuò)散泵出口管道的流導(dǎo),L/s
V儲(chǔ)氣罐體積,L
1—儲(chǔ)氣罐工作時(shí)間,s
p—擴(kuò)散泵臨界前級(jí)壓力,Pa
p1—機(jī)組正常工作時(shí),擴(kuò)散泵前級(jí)壓力,Pa
④用于穩(wěn)定擴(kuò)散泵出口壓力而設(shè)備儲(chǔ)氣罐。機(jī)械泵排氣是脈沖的,雖然頻率不高(  般為7次/s左右),也會(huì)引起擴(kuò)散泵出口壓力的波動(dòng),設(shè)置儲(chǔ)氣罐可減少這種波動(dòng)。  (2)預(yù)抽泵  預(yù)抽泵(粗抽泵)主要用來抽除真空室中的大量氣體,使真空室氣壓由1×105Pa降到  主泵能夠啟動(dòng)工作時(shí)的真空度,因此,要求預(yù)抽泵所達(dá)到的壓力小于主泵的啟動(dòng)工作壓力,  預(yù)抽泵(如機(jī)械泵)的抽速大小由粗抽時(shí)間決定。從公式(3-15)導(dǎo)出

v. Pi  Sp-2. 3Kg-Ig-(L/s)  式中
預(yù)抽泵的名義抽速,L  V真空室容積,  p1開始抽氣時(shí)的真空室壓力,通常為1×105Pa  p主泵啟動(dòng)壓力(或預(yù)抽結(jié)束時(shí)壓力),Pa;  修正系數(shù);  K  t—預(yù)抽泵的抽氣時(shí)間,對(duì)于容積V<1m3,取t=10~20min;中等容積V=2  4m3,取20~30min;大型容積,即V>5m3的真空室,取t=30~60