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氟橡膠密封超高真空法蘭  上述的金屬密封的超高真空法蘭對(duì)于需要頻繁放入大氣更換工件的超高真空系  統(tǒng),每次重新拆裝容器法蘭由于刀口壓痕的不重合或刀口受到損傷,難以確?？煽?nbsp; 地密封,特別是使用一次性密封的金屬墊圈,在每次打開容器時(shí),都需要更換新的  法蘭密封圈,鋁箔密封的法蘭,在高溫烘烤時(shí)往往會(huì)因擴(kuò)散焊而黏附在不銹鋼法蘭
32氟橡膠密封超高真空法蘭  面上難以去除,給更換密封圈帶來(lái)麻煩,對(duì)于極限壓力不高于10-6~10-Pa的超  高真空系統(tǒng),可釆用氟橡膠密封,并采取相應(yīng)措施減少橡膠出氣速率比金屬大的  缺點(diǎn)。  氟橡膠可承受250~300℃的高溫烘烤,在受壓的條件下,能長(zhǎng)期工作在  125℃。它比常用的丁腈橡膠出氣速率低,國(guó)產(chǎn)F26型氟橡膠的性能參數(shù)見表33

 
盡量采用截面直徑較小的O形橡膠圈,在密封槽設(shè)計(jì)時(shí),選用兩法蘭能  在一起使暴露在真空側(cè)橡膠面積最小的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。常用的O形橡膠圈密封槽尺寸  如圖3-8所示,膠圈的壓縮量為O形圈截面直徑的30%,槽寬至少是O形圈截面  直徑的.4倍,O形圈的內(nèi)徑應(yīng)略小于密封槽的內(nèi)徑,裝配后可使橡膠圈緊貼在  密封槽內(nèi),O形圈向外有足夠的橫向變形空間,兩個(gè)法蘭平面緊壓在一起可將O  形圈全部壓入密封槽內(nèi)而不會(huì)從槽中擠壓出來(lái)。為便于加工,密封槽底面角可加  工成半徑等于O形圈截面直徑1/5圓角,密封面的粗糙度至少要達(dá)到1.6m  (最好為0.8m)。槽的外部邊沿倒角0.13mm,并需修整光潔避免裝配時(shí)劃傷O  形圈。
降低橡膠密封圈的溫度或采用中間抽氣的雙道密封圈,能有效地降低橡膠的出  氣速率和漏氣率,典型的氟橡膠密封法蘭結(jié)構(gòu)見圖39~圖3-11。