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擴散泵的臨界前級壓力是指擴散泵排氣口允許的最高前級壓力。高于臨界前級  壓力時,返流反擴散增加,泵的抽速降低,達到最大前級壓力時,會完全破壞泵的  正常工作。擴散泵的臨界前級壓力一般在26~40Pa,最大達到100Pa。擴散泵的
前級壓力與極限壓力的關系曲線,如圖2-14所示。圖中黑實線是近代擴散泵前級  壓力特性,虛線是老式擴散泵的前級壓力曲線。圖2-15所示為不同成分氣體對泵  的前級壓力影響曲線。前級壓力很低時,對泵的進口壓力影響不大,接近極限前級  壓力時,曲線出現(xiàn)拐點,拐點區(qū)域很窄。一般將入口壓力增大20%時的前級壓力  作為泵的極限前級壓力。超過最大前級壓力時,曲線的斜率急劇增大,最后幾乎接  近垂線,此時擴散泵完全喪失抽氣能力。所以,選擇前級機械泵時,一定要保證機  械泵有足夠大的抽速,滿足擴散泵在最大工作壓力條件下,前級真空泵能夠?qū)U散  泵排除的最大氣量及時抽走。配置的前級泵的有效抽速必須滿足下式  式中S4—前級級泵在擴散泵臨界前級壓力pn下的有效抽速,L/s  擴散泵的臨界前級壓力  擴散泵的最大工作壓力,Pa;  擴散泵的最大排氣量,Pa·L/s;  S擴散泵在最大工作壓力pg時的抽速,L
公式中前級泵的有效抽速是指前級泵與抽氣管道串聯(lián)后,在擴散泵排氣口截面  處的抽速。前級泵采用機械泵時,設機械泵在壓力P時的實際抽速為S,它與流  導為U的前級管道串聯(lián)后的有效抽速為S,則要求機械泵的實際抽速應滿足公式

(2-15)  SqU  生產(chǎn)廠家給出的機械泵名義抽速S是在高壓端(102~105)的抽速值,圖  2-16所示為國產(chǎn)2X型旋片式機械真空泵的抽速曲線。若沒有泵的抽速實測曲線,  可用經(jīng)驗公式給出機械泵的名義抽速Sq的修正系數(shù)值

(2-16)  終合上述各式得(1.5~3)S、DnU公式中前級泵的有效抽速是指前級泵與抽氣管道串聯(lián)后,在擴散泵排氣口截面  處的抽速。前級泵采用機械泵時,設機械泵在壓力P時的實際抽速為S,它與流  導為U的前級管道串聯(lián)后的有效抽速為S,則要求機械泵的實際抽速應滿足公式

(2-15)  SqU  生產(chǎn)廠家給出的機械泵名義抽速S是在高壓端(102~105)的抽速值,圖  2-16所示為國產(chǎn)2X型旋片式機械真空泵的抽速曲線。若沒有泵的抽速實測曲線,  可用經(jīng)驗公式給出機械泵的名義抽速Sq的修正系數(shù)值

(2-16)  終合上述各式得(1.5~3)S、DnU

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