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  真空閥門是在真空系統(tǒng)中用來(lái)接通、切斷氣流,調(diào)節(jié)氣體流量或分配氣流的真  空元件。所有的真空系統(tǒng)、真空裝置都設(shè)有真空閥門將真空泵通過(guò)真空管道與抽  系統(tǒng)連接起來(lái),或用真空閥門將各個(gè)真空室連接起來(lái)以實(shí)現(xiàn)某種特定的工藝流程  通常,設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí)根據(jù)真空工藝的要求,來(lái)選擇不同類型的真空閥門,例如真  空計(jì)校準(zhǔn)和直空泵抽速測(cè)量,需要配置高精度的微真空放氣間,用以調(diào)節(jié)系統(tǒng)的  真空度。而用來(lái)對(duì)真空室或油封機(jī)械泵放氣,只須選用一股的真空放氣閥即可滿足  需要。被抽氣容器采用直角管道與真空泵維修連接的真空抽氣系統(tǒng),可選用直角閥門來(lái)  代替彎管。電動(dòng)、氣動(dòng)閥門,可用于自動(dòng)控制的真空系統(tǒng),而手動(dòng)閥門則常用于簡(jiǎn)  單的真空抽氣系統(tǒng)  燈空閥門不同于其他工業(yè)常用的閥門,其最主要特點(diǎn)是它對(duì)閥門的氣密性和漏  率要求極高。閥板的經(jīng)常開(kāi)、關(guān)最容易造成密封元件表面磨損造成泄漏,特別是金屬密封的超高真空閥門,問(wèn)題更為嚴(yán)重,因此,閥門材料的選擇至關(guān)重要。此外真空閥門還要求氣體的阻力小(即盡可能大的流導(dǎo)),傳動(dòng)部件操作輕便靈活,容易清洗安裝;密封部件耐磨性要好,能反復(fù)使用,壽命長(zhǎng)
金屬真空閥門的閥體及傳動(dòng)部件,主要有鋼鐵、鋁、銅等金屬材料,手動(dòng)閱門的驅(qū)動(dòng)手輪和閥體外部的次要部件可采用高強(qiáng)度塑料,玻璃閥門(又稱活塞、考克),常用于玻璃真空系統(tǒng)。玻璃閥門的優(yōu)點(diǎn)是制作容易、使用方便,易于清洗觀察,玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和絕緣性好,放氣量遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于金屬。密封主要依靠真空油脂,不存在磨損問(wèn)題,因而密封可靠,壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn)是玻璃的脆性,影響它的使用范圍
真空系統(tǒng)全部件中,真空閥門出現(xiàn)的問(wèn)題最多。特別是用于超高真空系統(tǒng)的金屬密封閥門,要經(jīng)常承受高溫烘烤,溫度的上升或下降過(guò)程中,金屬的熱脹冷縮最容易產(chǎn)生泄漏。其次是閥板密封材料的損傷、劃痕以及附著在密封面上的粉塵雜質(zhì)等,也都是造成泄漏的重要原因。特別是閥門的運(yùn)動(dòng)部件在運(yùn)動(dòng)軌道上隱藏的雜質(zhì)、污垢及金屬的尖銳棱角等造成的磨損或閥座上的灰塵、毛發(fā)等外來(lái)物質(zhì)都會(huì)造
漏氣。轉(zhuǎn)動(dòng)密封的氣密性優(yōu)于滑動(dòng)密封,例如氣動(dòng)閥門的直線傳動(dòng)軸,漏氣的可能性最大。建議每次開(kāi)機(jī)時(shí),首先對(duì)真空系統(tǒng)的漏氣速率進(jìn)行測(cè)量,發(fā)現(xiàn)漏率變大  時(shí)應(yīng)首先對(duì)閥門的氣密性進(jìn)行檢測(cè)。并且應(yīng)定時(shí)維修,提高系統(tǒng)的可靠性  可烘烤閥門的烘烤溫度一般在350℃以下,過(guò)高的烘烤溫度很難確保長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)  的可靠性,只要能滿足系統(tǒng)對(duì)閥門。