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凡在真空泵的抽氣流道內無任何液態(tài)工作介質或密封介質的在夏泉  無油泵可使被抽容器內獲得清潔真空,在排氣時不污染環(huán)境,是一種很有發(fā)展前途的真空泵  無油往復泵主要用在半導體工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、表面科學和食品工業(yè)等領域。  設計無油往復泵的關鍵是活塞環(huán)和密封環(huán)或填料函的自潤滑材料。目前使用最多的是填充  聚四氟乙烯材料
填充聚四氟乙烯由聚四氟乙烯(PTB  數(shù)種填充物組成,如炭纖維、玻璃纖維、青銅粉、石  墨、二硫化鉬等按一定比例組成的混合物,經(jīng)過壓制  燒結后,可加工成活塞環(huán)。這種活塞環(huán)韌性較好,不  易折斷,化學性質穩(wěn)定,耐高溫達250℃,低溫達  00℃,并能在金屬表面形成一層薄膜,摩擦系數(shù)  小,因而具有良好自潤滑性能。  炭纖維增強聚四氟乙烯(CFRP)是一種新興的密  圖7-14無十字頭往復泵示意圖
材料,其耐磨性、耐熱性、強度及彈性模量均高于  其他填充聚四氟乙烯,自潤滑性能優(yōu)異,最近幾年發(fā)  展很快  為減少活塞桿處的填料密封,無油往復泵常采用無十字頭的結構,如圖7-14所示。這種  結構使泵的尺寸和重量都減小了,成本降低了,但在曲軸箱內需抽真空,曲軸伸出端必須采用  無油機械密封  為降低往復泵的極限壓力,美國瓦里安( Varian)公司開發(fā)出一種三級往復泵,如圖7-15  所示。它是由四個階梯形活塞和四個階梯形汽缸組成,活塞的背面是小直徑部分,活塞的背面  空間由次級活塞抽氣,以減少泄漏降低極限壓力。每個汽缸都有進氣閥和排氣閥。這四個活塞，真空泵維修。