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 油擴(kuò)散泵是高真空系統(tǒng)經(jīng)常使用的泵種,采取某些技術(shù)措施,可以獲得超高真空,其方  法有如下幾種  (1)選用性能好的擴(kuò)散泵油  泵油對油擴(kuò)散泵極限壓力影響很大,如使用3號(hào)擴(kuò)散泵油,其極限壓力只能達(dá)到10-5  Pa,而改用了275硅油,其極限壓力能達(dá)到10-Pa,極限壓力提高2個(gè)數(shù)量級。其次被抽  氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化,這就是泵油成分帶來的影響。為此用油擴(kuò)散泵獲得超  高真空,必須選擇性能好的擴(kuò)散泵油。對擴(kuò)散泵油的要求是:泵油的相對分子量要大,常溫  下的蒸氣壓要低,熱穩(wěn)定性和抗氧化性要好,凝固點(diǎn)和低溫黏度要低、要無毒、耐腐蝕、成  本要低。擴(kuò)散泵油的性能參數(shù)見表4-38所示。

現(xiàn)在高真空油擴(kuò)散泵普遍采用3號(hào)擴(kuò)散泵油,超高真空采用硅油,要求不含碳?xì)浠衔?nbsp; 的超高真空系統(tǒng),擴(kuò)散泵采用氟油。  (2)采用合理的烘烤技術(shù)  用油擴(kuò)散泵獲得超高真空系統(tǒng)都進(jìn)行高溫烘烤,目的是減少材料的出氣速率。材料在大  氣壓下都能吸收和吸附一些氣體,當(dāng)處于真空中時(shí),便產(chǎn)生解吸,使氣體緩慢地釋放出來,
為了加速解吸,采用姒烤  材料的不同,選擇的烘烤溫度也不同,原則是溫度高一些好,可以加速出氣,但還要考  慮到材料是否能經(jīng)受得往高溫,烘烤溫度要選擇合適。通常金屬材料,如不銹鋼,烘烤溫度  為250~450℃,非金屬材料烘烤溫度為80~100℃,烘烤時(shí)間4-8h以上。極高真空的烘烤  時(shí)間在24h以上。典型金屬油擴(kuò)散泵系統(tǒng)(烘烤后)的性能和金屬油擴(kuò)散泵超高真空系統(tǒng)中  剩余氣體組分見表4-37和表4-39所示。
(3)增加冷阱裝置防止泵油返流和遷移  泵油通過泵的入口流向被抽容器的現(xiàn)象叫做返流。油分子沿著容器壁移動(dòng)進(jìn)入被抽容器  壁的現(xiàn)象叫做遷移。無論返流或是返遷移都會(huì)影響真空系統(tǒng)的極限壓力。冷阱廣泛用于超高  真空系統(tǒng),它裝在泵入口和被抽容器(亦稱真空室)之間,不僅能有效地捕集擴(kuò)散泵的返流  蒸氣及部分分裂解物,而且可抽除來自真空室的蒸氣。裝有各類冷阱的超高真空系統(tǒng),經(jīng)過  徹底的高溫烘烤去氣后,可獲得10-8~10-10Pa(或更高)的超高真空度。常用的冷阱是液  氮冷阱,因?yàn)樵谝旱獪囟认?泵油的蒸氣壓力大大低于超高經(jīng)過徹底的高溫烘烤去氣后,可  獲得10-8~10-10Pa(或更高)的超高真空度。常用的冷阱是液氮冷阱,因?yàn)樵谝旱獪囟认?nbsp; 泵油的蒸氣壓力大大低于超高真空度的要求。但設(shè)計(jì)液氮冷阱時(shí)必須保證通過阱的分子都會(huì)碰  到冷面上,同時(shí)阱的結(jié)構(gòu)要合理。裝上液氮冷阱后,油擴(kuò)散泵的抽速降低不高于40%  (4)減少被抽氣體反擴(kuò)散  被抽氣體反擴(kuò)散是限制擴(kuò)散泵獲得高真空因素之一。氣體反擴(kuò)散和分子質(zhì)量有關(guān)。質(zhì)量  愈小,愈易反擴(kuò)散。擴(kuò)散泵抽氫時(shí)易反擴(kuò)散,防止氫反擴(kuò)散方法有兩種:其一,降低擴(kuò)散泵  出口排氣壓力,采用兩個(gè)擴(kuò)散泵串聯(lián)來實(shí)現(xiàn);其二是在擴(kuò)散泵進(jìn)氣口管路上安裝液氮冷卻的  鈦升華阱來捕集反擴(kuò)散的氫